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赵文斌
作品数:
7
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供职机构:
中国电子科技集团第五十八研究所
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相关领域:
自动化与计算机技术
电气工程
电子电信
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合作作者
洪根深
中国电子科技集团第五十八研究所
刘国柱
中国电子科技集团第五十八研究所
朱少立
中国电子科技集团第五十八研究所
徐海铭
中国电子科技集团第五十八研究所
徐政
中国电子科技集团第五十八研究所
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作者
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洪根深
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赵文斌
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贺琪
年份
1篇
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1篇
2020
2篇
2018
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2017
1篇
2016
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抗辐射Sence‑Switch型nFLASH开关单元结构及其制备方法
本发明涉及一种抗辐射Sence‑Swtich型nFLASH开关单元结构及其制备方法。按照本发明提供的技术方案,所述Sence‑Switch型nFLASH开关单元是制作在SOI顶层硅P阱中,并被STI隔离槽全介质隔离;所述...
刘国柱
洪根深
赵文斌
曹利超
刘佰清
朱少立
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一种VDMOS功率器件的制备方法
本发明提供了一种VDMOS功率器件的制备方法,属于集成电路技术领域。在器件的沟道区域之间形成光罩的图形;按照光罩的图形注入P型杂质,并进行高温退火处理;所述P型杂质的注入剂量为1E15‑1E16cm<Sup>‑2</Su...
徐海铭
洪根深
赵文斌
吴建伟
徐政
刘国柱
文献传递
抗辐射PIP型ONO反熔丝结构及CMOS工艺集成法
本发明涉及抗辐射PIP型ONO反熔丝结构及CMOS工艺集成法,ONO反熔丝结构制作在场区之上;由下至上包括反熔丝下极板、反熔丝孔腐蚀掩蔽层、ONO反熔丝介质层、反熔丝上极板,反熔丝下极板为N型饱和掺杂的非晶硅薄膜,覆盖于...
刘国柱
洪根深
赵文斌
吴建伟
朱少立
徐静
刘佰清
文献传递
一种提高抗辐射VDMOS的栅氧反向击穿加固工艺方法
本发明公开一种提高抗辐射VDMOS的栅氧反向击穿加固工艺方法,属于VDMOS制备技术领域。首先提供衬底,在其表面形成外延层;制作P阱;制作源端和体接触端;进行高温栅氧干氧氧化SiO2分段生长的第一次生长;进行低温栅氧干氧...
徐海铭
徐政
贺琪
洪根深
吴建伟
赵文斌
廖远宝
文献传递
一种抗辐射Sense-Switch型pFLASH开关单元结构及其制备方法
本发明涉及一种抗辐射Sence‑Switch型pFLASH开关单元结构及其制备方法,其通过浮栅电荷共享的方式实现编程/擦除管对信号传输管的开关态,实现电荷共享方式为BTBT编程和FN擦除方式;所述抗辐射FLASH开关单元...
刘国柱
洪根深
赵文斌
曹利超
朱少立
文献传递
抗辐射PIP型ONO反熔丝结构及CMOS工艺集成法
本发明涉及抗辐射PIP型ONO反熔丝结构及CMOS工艺集成法,ONO反熔丝结构制作在场区之上;由下至上包括反熔丝下极板、反熔丝孔腐蚀掩蔽层、ONO反熔丝介质层、反熔丝上极板,反熔丝下极板为N型饱和掺杂的非晶硅薄膜,覆盖于...
刘国柱
洪根深
赵文斌
吴建伟
朱少立
徐静
刘佰清
一种抗辐射Sence‑Switch型pFLASH开关单元结构及其制备方法
本发明涉及一种抗辐射Sence‑Switch型pFLASH开关单元结构及其制备方法,其通过浮栅电荷共享的方式实现编程/擦除管对信号传输管的开关态,实现电荷共享方式为BTBT编程和FN擦除方式;所述抗辐射FLASH开关单元...
刘国柱
洪根深
赵文斌
曹利超
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