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王庆国
作品数:
1
被引量:2
H指数:1
供职机构:
中国人民解放军军械工程学院静电与电磁防护研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
一般工业技术
化学工程
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合作作者
王腾
中国电子科技集团
李昂
中国人民解放军军械工程学院静电...
成伟
中国人民解放军军械工程学院静电...
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王腾
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兵器材料科学...
年份
1篇
2016
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强电场条件下二氧化钒薄膜的相变特性研究
被引量:2
2016年
为研究薄膜材料在强电场激励下的相变特性,采用直流磁控溅射工艺在硅衬底表面制备厚度不同的二氧化钒薄膜,搭建基于静电高压源和铜质电极夹具的材料相变特性测试系统。通过改变外施电场强度,研究薄膜材料的场致相变特性。结果表明:外施场强达到600 k V/m左右时,材料表现出明显的绝缘态-金属相变(MIT)特性;外施场强达到700k V/m时,材料电导率的变化幅度超过2.6个数量级,且远未达到饱和,随外场继续增加仍有很大上升空间。
李昂
王庆国
王腾
王妍
成伟
关键词:
二氧化钒薄膜
磁控溅射
电导率
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