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宁晓波
作品数:
1
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供职机构:
南华大学核科学技术学院
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发文基金:
湖南省教育厅科研基金
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相关领域:
核科学技术
一般工业技术
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合作作者
刘敏
南华大学核科学技术学院
赵越
南华大学核科学技术学院
夏艳芳
南华大学核科学技术学院
赵修良
南华大学核科学技术学院
张泊丽
南华大学核科学技术学院
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2016
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硅离子注入硅辐照效应的计算机模拟研究
2016年
利用SRIM软件计算模拟不同能量的硅离子注入硅靶的作用过程、能量损失、硅靶损伤情况。结果表明,随入射硅离子能量的增加,其运动方向偏离入射方向的程度越来越大,且平均投影射程越来越大;硅靶的损伤区域越来越大,且级联损伤占总损伤的比例也越来越大;电离能损、声子能损不断增大,且电离能损随能量的变化近似为一直线;电离能损占总能损的比例不断增加,声子能损占总能损的比例不断减少;位错、空位和替位碰撞的数量都不断地增大。
郑贤利
张泊丽
刘敏
夏艳芳
赵修良
赵越
宁晓波
关键词:
辐照损伤
硅
能量损失
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