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刘毅
作品数:
1
被引量:2
H指数:1
供职机构:
深圳大学电子科学与技术学院
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发文基金:
深圳市科技计划项目
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相关领域:
电子电信
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合作作者
张准
深圳大学电子科学与技术学院
曹建民
深圳大学电子科学与技术学院
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深圳大学电子科学与技术学院
孙瑞泽
深圳大学电子科学与技术学院
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年份
1篇
2016
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界面电荷位置对短沟道pMOS器件阈值电压的影响
被引量:2
2016年
通过二维数值模拟的方法,研究了短沟道器件中不同位置的界面电荷对pMOS器件阈值电压的影响。把pMOS器件栅氧化层等分成不同的区域,随即可以在不同的区域设置不同的界面电荷,从而很好地模拟了器件界面电荷处于不同位置时阈值电压漂移的变化情况,并同时考虑了不同漏极偏置的影响;为了探究其变化机制,还提取和比较了一些特殊情况下器件的表面势。这些研究有助于明确器件哪些位置的界面电荷对阈值电压漂移影响更大,这对深刻理解带漏极偏置的负偏压温度不稳定性效应有一定的帮助和促进。
孙瑞泽
刘毅
张准
贺威
曹建民
关键词:
负偏压温度不稳定性
界面电荷
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