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王洪建

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇抛光
  • 1篇抛光垫
  • 1篇平坦化
  • 1篇化学机械平坦...

机构

  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 1篇张玮琪
  • 1篇孙敏
  • 1篇王洪建

传媒

  • 1篇电子工业专用...

年份

  • 1篇2015
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
抛光垫修整系统的应用研究
2015年
抛光垫修整器系统是CMP设备的重要组成部分,它可以优化CMP的工艺结果,有效延长抛光垫的寿命;通过介绍抛光垫修整器装置的整体结构、机械结构、气动控制及建立数学模型,并利用Matlab软件进行仿真,得出全抛光垫均匀修整覆盖的模型,指出今后抛光垫修整器应具备更多功能,以满足抛光垫的修整需要。
张玮琪王洪建孙敏
关键词：化学机械平坦化抛光垫
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共1页<1>
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