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侯飞
作品数:
2
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供职机构:
西安工业大学
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相关领域:
电子电信
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合作作者
马方杰
西安工业大学
张君安
西安工业大学
卢志伟
西安工业大学
张旭忠
西安工业大学
刘波
西安工业大学
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作者
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侯飞
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王莉娜
1篇
赫东锋
1篇
刘波
1篇
张旭忠
1篇
卢志伟
1篇
张君安
1篇
马方杰
年份
2篇
2012
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2
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一种单坐标运动的气浮导轨实验平台
本实用新型属于机械设备技术领域,尤其涉及一种单坐标运动的气浮导轨实验平台。现有的气浮导轨实验平台中气浮轴承在滑架中的安装位置相对固定,在研究气浮轴承安装位置对系统影响实验时,成本较高。为克服现有技术存在的问题,本实用新型...
张君安
张旭忠
卢志伟
刘波
赫东锋
侯飞
马方杰
王莉娜
文献传递
划片机工作台精确定位控制技术研究
随着半导体工艺技术的发展,集成电路成为信息产业的基础。而划片机是集成电路的后封装的重要一道工序,它的加工能力决定了芯片的质量和数量。随着硅晶圆片越来越薄,切口宽度越小,芯片对加工的设备的要求也越来越高。良好性能的机械设备...
侯飞
关键词:
划片机
工作台
PID控制
遗传算法
文献传递
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