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薄春霞

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：中国电子科技集团公司更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇荧光谱
  • 1篇质谱
  • 1篇抛光片
  • 1篇离子
  • 1篇光谱
  • 1篇光荧光
  • 1篇光荧光谱
  • 1篇二次离子质谱
  • 1篇PL
  • 1篇SIMS
  • 1篇MOCVD

机构

  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 1篇马农农
  • 1篇李静
  • 1篇薄春霞
  • 1篇孙强
  • 1篇王建利

传媒

  • 1篇天津科技

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
GaAs抛光片在MOCVD中斑现象分析
2011年
为了解决2英寸低阻掺硅砷化镓单面抛光片在MOCVD中"白斑"、"暗斑"的质量问题,从不同公司加工的同一规格的抛光片中取样,分别进行了光荧光谱(PL)、二次离子质谱(SIMS)等测试。通过对这些测试结果进行综合分析,最终确定了造成产品出现"斑"现象的原因,通过改进工艺,向MOCVD用户提供了满足要求的砷化镓抛光片。
王建利孙强李静马农农薄春霞
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共1页<1>
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