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许卓
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供职机构:
中北大学
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相关领域:
自动化与计算机技术
经济管理
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合作作者
丑修建
中北大学
李惠琴
中北大学
孙玉虹
中北大学
陈晓勇
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安坤
中北大学
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一种复合自加热反射层聚能的半导体点火桥
本发明提供了一种复合自加热反射层聚能的半导体点火桥,由基底层、绝缘层、反射层、半导体桥层、分立焊锡层和分立的电极层自下而上顺序叠加而成;矩形半导体硅构成基底层;与基底层同尺寸的二氧化硅构成绝缘层,绝缘层覆盖在基底层上;反...
陈晓勇
丑修建
熊继军
穆继亮
安坤
杨杰
李惠琴
许卓
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曹嘉峰
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大量程场式时栅位移传感器设计制造及关键技术研究
纳米位移测量技术是现代科技发展的基础和导向,也是重大科学的前沿,国内多位学者已经展开了纳米测量技术的相关研究。纳米直线位移传感器是现代工业、国防军工等特殊需求的核心技术和关键部件。目前,量程可以达到几百毫米的纳米级位移传...
许卓
关键词:
微纳加工
电场耦合
位移传感器
文献传递
一种复合自加热反射层聚能的半导体点火桥
本实用新型提供了一种复合自加热反射层聚能的半导体点火桥,由基底层、绝缘层、反射层、半导体桥层、分立焊锡层和分立的电极层自下而上顺序叠加而成;矩形半导体硅构成基底层;与基底层同尺寸的二氧化硅构成绝缘层,绝缘层覆盖在基底层上...
陈晓勇
丑修建
熊继军
穆继亮
安坤
李惠琴
杨杰
许卓
孙玉虹
曹嘉峰
文献传递
一种曲面结构电场式时栅角位移传感器微纳制造方法
本发明涉及曲面结构电场式时栅角位移传感器的制造方法,具体为一种曲面结构电场式时栅角位移传感器微纳制造方法,包括测头基体制造方法和定尺基体制造方法,本发明采用微纳工艺制造曲面结构电场式时栅角位移传感器,解决了现有曲面结构电...
丑修建
张文栋
薛晨阳
田英
许卓
薛彦辉
文献传递
一种复合自加热反射层聚能的半导体点火桥
本发明提供了一种复合自加热反射层聚能的半导体点火桥,由基底层、绝缘层、反射层、半导体桥层、分立焊锡层和分立的电极层自下而上顺序叠加而成;矩形半导体硅构成基底层;与基底层同尺寸的二氧化硅构成绝缘层,绝缘层覆盖在基底层上;反...
陈晓勇
丑修建
熊继军
穆继亮
安坤
杨杰
李惠琴
许卓
孙玉虹
曹嘉峰
电场式直线纳米时栅传感器结构仿真及设计
许卓
关键词:
仿真
一种曲面结构电场式时栅角位移传感器微纳制造方法
本发明涉及曲面结构电场式时栅角位移传感器的制造方法,具体为一种曲面结构电场式时栅角位移传感器微纳制造方法,包括测头基体制造方法和定尺基体制造方法,本发明采用微纳工艺制造曲面结构电场式时栅角位移传感器,解决了现有曲面结构电...
丑修建
张文栋
薛晨阳
田英
许卓
薛彦辉
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