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张国华

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：比亚迪汽车股份有限公司更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文专利

主题

  • 2篇微结构
  • 2篇结构层
  • 2篇MEMS微结...
  • 1篇亚胺
  • 1篇掩膜
  • 1篇酰亚胺
  • 1篇牺牲层
  • 1篇膜层
  • 1篇聚酰亚胺
  • 1篇半导体
  • 1篇成品率

机构

  • 2篇比亚迪汽车股...

作者

  • 2篇姚日英
  • 2篇王祝山
  • 2篇张国华
  • 2篇黄国华

年份

  • 1篇2016
  • 1篇2014
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
一种MEMS微结构的制备方法
本发明提供一种MEMS微结构的制备方法，包括以下步骤：提供半导体衬底；在所述半导体衬底表面形成聚酰亚胺牺牲层并预固化；在所述聚酰亚胺牺牲层表面形成掩膜层；去除形成在所述半导体衬底边缘部分的所述掩膜层；去除未被所述掩膜层保...
姚日英王祝山张国华黄国华
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一种MEMS微结构的制备方法
本发明提供一种MEMS微结构的制备方法，包括以下步骤：提供半导体衬底；在所述半导体衬底表面形成聚酰亚胺牺牲层并预固化；在所述聚酰亚胺牺牲层表面形成掩膜层；去除形成在所述半导体衬底边缘部分的所述掩膜层；去除未被所述掩膜层保...
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