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邓秋芳

作品数:4 被引量:0H指数:0
供职机构:中国科学院半导体研究所更多>>
相关领域:电子电信更多>>

文献类型

  • 4篇中文专利

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 4篇重掺杂
  • 4篇波长
  • 2篇叠层
  • 2篇多波长
  • 2篇双波长
  • 2篇芯片
  • 2篇刻蚀
  • 2篇激光
  • 2篇激光器
  • 2篇光子
  • 2篇光子集成
  • 2篇发射芯片
  • 2篇反馈激光器
  • 2篇分布反馈激光...
  • 2篇盖层
  • 1篇源区
  • 1篇双模
  • 1篇磷化铟
  • 1篇光栅

机构

  • 4篇中国科学院

作者

  • 4篇朱洪亮
  • 4篇梁松
  • 4篇许俊杰
  • 4篇邓秋芳

年份

  • 1篇2019
  • 1篇2018
  • 1篇2017
  • 1篇2016
4 条 记 录,以下是 1-4
排序方式:
共腔双波长分布反馈激光器的制作方法
一种共腔双波长分布反馈激光器的制备方法,该方法包括如下步骤:步骤1:在掺杂磷化铟衬底上制作下层光栅;步骤2:在下层光栅上外延生长下光栅覆盖层和有源区层;步骤3:在有源区层上制作上层光栅;步骤4:在上层光栅上外延生长掺杂磷...
邓秋芳朱洪亮许俊杰梁松
文献传递
叠层选区生长制作多波长光子集成发射芯片的方法
一种叠层选区生长制作多波长光子集成发射芯片的方法,包括:在衬底上制作选区介质掩膜条对;并依次生长InP缓冲层、下分别限制层、下层多量子阱层、刻蚀终止层、上层多量子阱层以及上分别限制层;去掉部分上分别限制层和上层多量子阱层...
邓秋芳梁松许俊杰朱洪亮
共腔双波长分布反馈激光器的制作方法
一种共腔双波长分布反馈激光器的制备方法,该方法包括如下步骤:步骤1:在掺杂磷化铟衬底上制作下层光栅;步骤2:在下层光栅上外延生长下光栅覆盖层和有源区层;步骤3:在有源区层上制作上层光栅;步骤4:在上层光栅上外延生长掺杂磷...
邓秋芳朱洪亮许俊杰梁松
文献传递
叠层选区生长制作多波长光子集成发射芯片的方法
一种叠层选区生长制作多波长光子集成发射芯片的方法,包括:在衬底上制作选区介质掩膜条对;并依次生长InP缓冲层、下分别限制层、下层多量子阱层、刻蚀终止层、上层多量子阱层以及上分别限制层;去掉部分上分别限制层和上层多量子阱层...
邓秋芳梁松许俊杰朱洪亮
文献传递
共1页<1>
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