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陈莉萍

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：浙江师范大学更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇中文专利

主题

  • 2篇电池
  • 2篇太阳能电池
  • 2篇罗茨
  • 2篇罗茨泵
  • 2篇机械泵
  • 2篇分子泵
  • 2篇薄膜太阳能电...
  • 1篇氧分压
  • 1篇氧化锌薄膜
  • 1篇真空系统
  • 1篇转数
  • 1篇溅射
  • 1篇溅射沉积
  • 1篇硅薄膜
  • 1篇半导体性质
  • 1篇本征
  • 1篇衬底
  • 1篇衬底温度

机构

  • 3篇浙江师范大学

作者

  • 3篇何绿
  • 3篇黄仕华
  • 3篇陈莉萍
  • 2篇刘剑
  • 2篇张若云
  • 1篇郭海

年份

  • 1篇2017
  • 2篇2015
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
一种制造氢化纳米晶硅薄膜太阳能电池的系统和方法
本发明涉及一种制造氢化纳米晶硅薄膜太阳能电池的方法，通过准备室、本征室、P室、N室、机械泵A、机械泵B、分子泵C、分子泵D、罗茨泵E和罗茨泵F，经过准备预热步骤、准备室预溅射步骤、生长P型氢化纳米晶硅薄膜步骤、生长本征氢...
何绿张若云陈莉萍刘剑黄仕华
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一种制造氢化纳米晶硅薄膜太阳能电池的系统和方法
本发明涉及一种制造氢化纳米晶硅薄膜太阳能电池的方法，通过准备室、本征室、P室、N室、机械泵A、机械泵B、分子泵C、分子泵D、罗茨泵E和罗茨泵F，经过准备预热步骤、准备室预溅射步骤、生长P型氢化纳米晶硅薄膜步骤、生长本征氢...
何绿张若云陈莉萍刘剑黄仕华
一种制备氧化锌薄膜的方法和氧化锌薄膜
本发明涉及一种制备氧化锌薄膜的方法，属于薄膜制备领域，包括以下步骤：(1)将衬底置于基片台上；在氧压≥0.2Pa，衬底温度在100℃-400℃的条件下，使用氧化锌靶材，采用脉冲激光溅射的方法，在衬底上溅射沉积氧化锌薄膜,...
陈莉萍郭雪祥何绿黄仕华郭海
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