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魏玉明

作品数：5 被引量：1H指数：1
供职机构：上海理工大学更多>>
发文基金：上海市自然科学基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 4篇芯片
  • 4篇宽频
  • 4篇表面波
  • 4篇波导
  • 2篇矢量
  • 2篇矢量网络分析...
  • 2篇太赫兹
  • 2篇太赫兹波
  • 2篇网络分析仪
  • 2篇接地带
  • 2篇共面
  • 2篇共面波导
  • 2篇波导结
  • 2篇波导结构
  • 2篇超宽
  • 2篇超宽频
  • 2篇传输线
  • 1篇周期
  • 1篇微电子
  • 1篇微电子机械

机构

  • 5篇上海理工大学

作者

  • 5篇陈麟
  • 5篇魏玉明
  • 4篇蔡斌
  • 4篇庄松林
  • 4篇朱亦鸣
  • 4篇臧小飞
  • 4篇汪丹妮
  • 4篇韦鹏
  • 1篇陈长英

传媒

  • 1篇光学仪器

年份

  • 1篇2020
  • 1篇2019
  • 1篇2018
  • 1篇2016
  • 1篇2015
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
一种基于超宽频芯片的太赫兹波时域频谱系统
本发明提供了一种基于超宽频芯片的太赫兹波时域频谱系统，具有衬底以及金属层，金属层用于获取并传导太赫兹波，包括信号获取部、第一模式转换部、传导部、第二模式转换部以及信号输出部，第一模式转换部、传导部、第二模式转换部均为双波...
陈麟朱亦鸣汪丹妮魏玉明韦鹏蔡斌臧小飞庄松林
硅基周期槽结构的刻蚀工艺研究被引量：1
2016年
针对微电子机械系统(MEMS)湿法槽刻蚀技术,基于硅材料各向异性腐蚀特性研究了硅基周期槽的湿法刻蚀工艺,得出了优化的光刻参数。通过对比实验详细分析了搅拌在腐蚀过程中起到的重要作用,实验结果显示,搅拌可以增加腐蚀溶液的流通性,使硅表面不易产生气泡形成"伪掩膜"阻碍反应的进行,从而制备出表面光滑平整的周期槽结构。同时,在搅拌的条件下对槽深和腐蚀时间的关系也做出了相应的分析。为硅微机械加工技术的进一步研究提供了参考。
魏玉明陈长英陈麟
关键词：各向异性刻蚀
一种宽频传输线芯片
本发明的一种宽频传输线芯片，包括衬底、设置于衬底的上的金属层，金属层包括信号获取部、第一模式转换部、传导部、第二模式转换部、信号输出部，信号获取部为共面波导，第一模式转换部与信号获取部连接，包括Vivaldi天线以及第一...
陈麟朱亦鸣汪丹妮魏玉明韦鹏蔡斌臧小飞庄松林
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一种基于超宽频芯片的太赫兹波时域频谱系统
本发明提供了一种基于超宽频芯片的太赫兹波时域频谱系统，具有衬底以及金属层，金属层用于获取并传导太赫兹波，包括信号获取部、第一模式转换部、传导部、第二模式转换部以及信号输出部，第一模式转换部、传导部、第二模式转换部均为双波...
陈麟朱亦鸣汪丹妮魏玉明韦鹏蔡斌臧小飞庄松林
文献传递
一种宽频传输线芯片
本发明的一种宽频传输线芯片，包括衬底、设置于衬底的上的金属层，金属层包括信号获取部、第一模式转换部、传导部、第二模式转换部、信号输出部，信号获取部为共面波导，第一模式转换部与信号获取部连接，包括Vivaldi天线以及第一...
陈麟朱亦鸣汪丹妮魏玉明韦鹏蔡斌臧小飞庄松林
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