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高文玉
作品数:
2
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供职机构:
中国科学院物理研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
核科学技术
电子电信
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合作作者
刘家瑞
中国科学院物理研究所
陈坚
北京大学物理学院技术物理系
杨锋
中国科学院物理研究所
朱沛然
中国科学院物理研究所
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离子束
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离子束混合
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机构
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北京大学
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陈坚
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刘家瑞
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高文玉
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原子能科学技...
1篇
材料科学进展
年份
1篇
1990
1篇
1989
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300keV Xe^(2+)离子束诱导的金属/硅界面反应
1990年
采用RBS分析方法,研究了宽温区(LNT—400℃)下Xe^(2+)离子束诱导引起的金属/硅界面反应,得到多种硅化物单相或双相生长层,讨论了化学驱动力和辐射增强扩散效应。
毛思宁
杨熙宏
陈坚
刘家瑞
高文玉
朱沛然
关键词:
离子束
几种无限供应的金属/硅体系离子束混合相变
1989年
研究了五种无限供应的 Bilayer 膜金属/硅体系中(Ni/Si,Cu/Si,Nb/Si,Mo/Si,Ti/Si),因离子束注入引起的界面原子交混及相变过程。界面温度和注入离子剂量显著影响薄膜相变,在生成各种金属 Si 化物及固溶体时,反应温度和生长激活能大大降低,相变动力学过程与热退火反应不尽相同,诱导离子和基体取向对成相生长也有影响。讨论了相应微观机理。
毛思宁
杨熙宏
陈坚
刘家瑞
高文玉
杨锋
关键词:
离子束混合
相变
金属
硅
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