范海洋
- 作品数：4 被引量：7H指数：2
- 供职机构：重庆大学材料科学与工程学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金重庆市自然科学基金国家科技重大专项更多>>
- 相关领域：金属学及工艺一般工业技术理学更多>>
- 高纯钽板中晶粒生长的取向相关性研究被引量：2
- 2016年
- 钽溅射靶材主要用于集成电路中导线的扩散阻挡层,其溅射性能受微观组织影响较大。本文采用电子背散射衍射(EBSD)技术,结合Extend Cahn-Hagel模型对周向轧制钽板的再结晶行为进行分析。并侧重于钽板再结晶初、中期与取向相关的晶粒生长速率的研究。结果表明,{111}〈uvw〉(〈111〉//ND)晶粒具有生长优势,初始阶段生长速率约为同期{001}〈uvw〉(〈100〉//ND)晶粒的1.6倍。
- 柳亚辉刘施峰范海洋刘庆
- 关键词：形核机制EXTEND
- 合金元素Mn对铜合金显微组织及织构演变的影响
- 林男刘施峰范海洋邓超
- 冷轧及退火钽板组织均匀性的多尺度研究
- 金属钽具有独特的物理化学性质，如高熔点、高硬度、耐腐蚀等，因此具有广泛用途，尤其用作集成电路工业中的溅射靶材。但是，其冷轧和退火过程中的组织和织构不均匀的问题一直存在，严重损害靶材溅射性能。本研究采用两种轧制方式（单向轧...
- 范海洋
- 关键词：钽板组织均匀性退火温度
- 高纯钽交叉轧制过程中微观结构和织构梯度的演变被引量：4
- 2017年
- 高纯钽板在交叉轧制过程中,通过控制轧制的道次,得到了70%,82%和87%变形量的样品。应用X-射线衍射(XRD)技术测量了轧制样品1/8厚度层,1/4厚度层和中间层的宏观织构,并对样品沿厚度方向上的变形组织与微织构进行电子背散射衍射(EBSD)表征。结果表明,随着交叉轧制变形量的增加,{111}〈uvw〉和{100}〈uvw〉取向晶粒的取向分裂程度增加,并且{111}取向的晶粒分裂程度高于{100}取向的晶粒。变形量为70%时,高纯钽板沿厚度方向存在强烈的微观组织和织构梯度,中间层具有强烈的{111}〈uvw〉取向晶粒,而1/8厚度层主要为{100}〈uvw〉取向。随着变形量增加,高纯钽板沿厚度方向的微观组织和织构均匀性得到改善。当变形量达到87%时,表面和中心的{100}〈uvw〉和{111}〈uvw〉取向晶粒都为长条状且交互分布在一起,使得钽板沿厚度方向织构梯度得到减弱,同时获得均一的晶粒尺寸。
- 毛宇成刘施峰范海洋刘庆
