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刘福民

作品数：106 被引量：5H指数：1
供职机构：北京航天控制仪器研究所更多>>
发文基金：中国人民解放军总装备部预研基金更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程化学工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 99篇专利
  • 7篇期刊文章

领域

  • 19篇电子电信
  • 17篇自动化与计算...
  • 9篇机械工程
  • 3篇化学工程
  • 2篇金属学及工艺
  • 2篇航空宇航科学...
  • 2篇文化科学
  • 1篇交通运输工程

主题

  • 27篇键合
  • 24篇封装
  • 23篇加速度
  • 22篇刻蚀
  • 22篇加速度计
  • 16篇晶圆
  • 14篇电极
  • 13篇MEMS加速...
  • 12篇圆片
  • 11篇陀螺
  • 11篇芯片
  • 9篇应力
  • 8篇圆片级
  • 8篇温度稳定性
  • 7篇三明治
  • 6篇弹性梁
  • 6篇应力释放
  • 6篇直接键合
  • 6篇锚点
  • 6篇静电

机构

  • 106篇北京航天控制...
  • 1篇浙江大学

作者

  • 106篇刘福民
  • 55篇刘国文
  • 51篇刘宇
  • 48篇梁德春
  • 36篇徐宇新
  • 24篇王学锋
  • 21篇庄海涵
  • 19篇徐杰
  • 18篇邢朝洋
  • 12篇李新坤
  • 6篇胡启方
  • 5篇刘院省
  • 4篇石猛
  • 4篇邓意成
  • 2篇王岩
  • 2篇马高印
  • 2篇张玲
  • 2篇王巍
  • 2篇王妍
  • 2篇马跃飞

传媒

  • 3篇传感器与微系...
  • 3篇飞控与探测
  • 1篇微纳电子技术

年份

  • 9篇2024
  • 13篇2023
  • 18篇2022
  • 16篇2021
  • 18篇2020
  • 10篇2019
  • 9篇2018
  • 7篇2017
  • 5篇2016
  • 1篇2015
共 106 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种MEMS光开关
本发明公开了一种MEMS光开关，包括驱动模块、折叠梁、支撑梁、微反射镜、输入光纤和输出光纤，其中微反射镜位于支撑梁中间位置，支撑梁的两端设置有驱动模块，驱动模块侧面设置有折叠梁；沿支撑梁方向顺向排布的驱动模块为静电梳齿驱...
梅崴邢朝洋胡启方刘福民李昌政
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一种低交叉轴灵敏度的面外轴向检测MEMS电容式加速度计
本发明公开了一种低交叉轴灵敏度的面外轴向检测MEMS电容式加速度计，涉及MEMS惯性器件领域。所述加速度计包括结构层、衬底层以及硅盖板。加速度计的敏感结构包括四组正交分布的敏感质量单元以及一个不平衡质量块。每组敏感质量单...
刘国文马智康李兆涵刘宇赵亭杰刘福民杨静
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一种SOG-MEMS芯片中防止ICP过度刻蚀的方法
一种SOG-MEMS芯片中防止ICP过度刻蚀的方法，对于同时刻蚀掉多个矩形和刻蚀透多个同一线宽或不同线宽组成的线形，将光刻板上要刻掉多个矩形中的每个矩形设置中心非暴露区域(12)，使中心非暴露区域(12)与该矩形的边框，...
梁德春刘福民邢朝洋徐宇新李昌政刘宇
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一种圆片级封装MEMS芯片结构及其加工方法
本发明涉及一种圆片级封装MEMS芯片结构及其加工方法，通过盖帽层、器件层和衬底层依次键合，形成一个可供器件层的梳齿微结构移动的空腔结构。封装腔体内电学信号首先通过衬底层上布置的双层金属引线的第一层引线跨越衬底键合密封环从...
张乐民刘福民穆京京刘宇张树伟杨静刘国文梁德春吴浩越崔尉
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一种减缓原子自旋弛豫的原子气室内壁镀膜方法
本发明提供一种减缓原子自旋弛豫的原子气室内壁镀膜方法，该方法首先采用将铷原子蒸汽充入原子气室内，再通过氢化物固态释气剂(如氢化钛、氢化钙等)向原子气室内释放压强为10Torr～100Torr的氢气，并在温度50℃～150...
李新坤王巍刘院省王学锋邢朝洋刘福民石猛邓意成王妍周维洋
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一种MEMS器件电极布局结构
本发明涉及一种MEMS器件电极布局结构，属于微机电系统制造技术领域。包括MEMS敏感结构、MEMS敏感结构固定锚区、MEMS电极引线、MEMS电极铺地区、MEMS绝缘层接触孔、MEMS电极引出焊盘和MEMS电极铺地引出焊...
刘福民张乐民刘国文徐杰徐宇新王学锋
一种MEMS加速度计低应力集成封装结构及方法
本发明提供了一种MEMS加速度计低应力集成封装结构及方法，所述MEMS加速度计包括MEMS加速度计芯片、ASIC芯片、应力隔离框架、封装管壳和封装盖板；MEMS加速度计芯片，固定在封装管壳基底上；应力隔离框架为倒U型盖板...
刘国文高乃坤李兆涵刘福民赵亭杰张树伟王学锋
一种阵列式扭摆加速度计
一种阵列式扭摆加速度计，包含由4个或6个或8个敏感质量单元组成的阵列式敏感结构，其中，每两个相邻的敏感质量单元排布方向相反；每两个相间的敏感质量单元排布方向相同，且通过连接横梁形成刚性连接，连接横梁两端布置有应力释放结构...
刘国文马智康李兆涵刘宇赵亭杰刘福民张天祺
一种全差分高精度X轴硅微陀螺仪
本发明公开了一种全差分高精度X轴硅微陀螺仪，包括质量块组、驱动单元、检测单元。驱动单元接收外部输入的电信号，产生静电力，驱动质量块沿X方向做简谐振动；质量块组中各质量块在作简谐振动的同时敏感外界绕Y轴的角速率，受到科里奥...
高乃坤刘福民刘国文徐杰 张乐民 王健鹏
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一种带有过刻蚀阻挡层的MEMS结构及其制备方法
本发明提供了一种带有过刻蚀阻挡层的MEMS结构及其制备方法，包括上层器件层、底层衬底层和中间的锚区层，通过衬底层和器件层晶圆键合与刻蚀技术，形成由锚区支撑的可动质量块结构。与传统SOG结构的带电极引出的可动质量块结构相比...
张乐民刘福民梁德春崔尉李娜刘宇马骁杨静
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