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庞春玲

作品数：5 被引量：0H指数：0
供职机构：哈尔滨工业大学更多>>
相关领域：金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 3篇单晶
  • 2篇单晶表面
  • 2篇掩膜
  • 2篇图形化
  • 2篇微米
  • 2篇微米级
  • 2篇刻蚀
  • 2篇蓝宝
  • 2篇蓝宝石
  • 2篇花篮
  • 2篇管式
  • 2篇管式炉
  • 2篇光刻
  • 2篇光刻工艺
  • 2篇干法刻蚀
  • 2篇SUB
  • 1篇等离子处理
  • 1篇等离子体蚀刻
  • 1篇原子力显微镜
  • 1篇湿法

机构

  • 5篇哈尔滨工业大...

作者

  • 5篇庞春玲
  • 4篇张丹
  • 4篇张飞虎
  • 4篇甘阳
  • 4篇申健

年份

  • 2篇2018
  • 3篇2015
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
α‑Al<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>单晶表面SiO<Sub>2</Sub>掩膜的制作方法
α‑Al<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>单晶表面SiO<Sub>2</Sub>掩膜的制作方法，它涉及一种单晶表面SiO<Sub>2</Sub>掩膜的制作方法。本发明是要解决光刻工艺制备SiO<Sub>2...
申健张丹庞春玲张飞虎甘阳
文献传递
等离子处理对Al2O3和SiC单晶表面结构影响的AFM研究
目前，干法蚀刻是制备LED图形衬底普遍采用的的方法。针对等离子体处理对样品表面微观形貌的影响作用研究不深入的问题，本论文以 Al2O3和SiC单晶作为模型体系，利用原子力显微镜系统研究了等离子体参数对样品表面形貌的影响作...
庞春玲
关键词：原子力显微镜等离子体蚀刻
α-Al<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>单晶表面SiO<Sub>2</Sub>掩膜的制作方法
α-Al<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>单晶表面SiO<Sub>2</Sub>掩膜的制作方法，它涉及一种单晶表面SiO<Sub>2</Sub>掩膜的制作方法。本发明是要解决光刻工艺制备SiO<Sub>2...
申健张丹庞春玲张飞虎甘阳
文献传递
六边角锥体图形化蓝宝石的制备方法
六边角锥体图形化蓝宝石的制备方法，它涉及一种蓝宝石的制备方法。本发明是为了解决干法刻蚀在蓝宝石表面难以制作六边角锥体的问题。本方法如下：将预处理后的圆锥形图形化蓝宝石片置于石英花篮中，将石英烧杯中混合溶液A高温湿法刻蚀，...
申健张丹庞春玲张飞虎甘阳
文献传递
六边角锥体图形化蓝宝石的制备方法
六边角锥体图形化蓝宝石的制备方法，它涉及一种蓝宝石的制备方法。本发明是为了解决干法刻蚀在蓝宝石表面难以制作六边角锥体的问题。本方法如下：将预处理后的圆锥形图形化蓝宝石片置于石英花篮中，将石英烧杯中混合溶液A高温湿法刻蚀，...
申健张丹庞春玲张飞虎甘阳
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