张奇 作品数:7 被引量:6 H指数:1 供职机构: 中国科学院半导体研究所 更多>> 相关领域: 电子电信 更多>>
基于纳米压印光栅的二次干法刻蚀方法及外延片和激光器 一种基于纳米压印光栅的二次干法刻蚀方法及外延片和激光器,该方法包括:通过紫外纳米压印工艺,在外延片表面涂覆的光刻胶上压印出光栅图形;将压印好的外延片送入电感耦合等离子体(ICP)设备的反应腔室中进行一次刻蚀,反应气体为C... 王海丽 赵懿昊 张奇 王文知 仲莉 刘素平 马骁宇文献传递 分布反馈激光器中基于纳米压印光栅干法刻蚀的方法 一种分布反馈激光器中基于纳米压印光栅干法刻蚀的方法,包括如下步骤:步骤1:取一外延片;步骤2:在该外延片的表面涂覆光刻胶,通过纳米压印工艺,在该外延片表面的光刻胶上制作出光栅图形;步骤3:清洁感应耦合等离子体反应室;步骤... 张奇 赵懿昊 董振 刘素平 马骁宇文献传递 基于纳米压印光栅的二次干法刻蚀方法及外延片和激光器 一种基于纳米压印光栅的二次干法刻蚀方法及外延片和激光器,该方法包括:通过紫外纳米压印工艺,在外延片表面涂覆的光刻胶上压印出光栅图形;将压印好的外延片送入电感耦合等离子体(ICP)设备的反应腔室中进行一次刻蚀,反应气体为C... 王海丽 赵懿昊 张奇 王文知 仲莉 刘素平 马骁宇文献传递 基于纳米压印光栅的两步干法刻蚀方法及外延片和激光器 一种基于纳米压印光栅的两步干法刻蚀方法及外延片和激光器,该方法包括:通过紫外纳米压印技术在GaInP材料上压印出光栅图形;将压印好的样品送入ICP设备中,进行一次刻蚀,反应气体为CH<Sub>4</Sub>/H<Sub>... 王海丽 赵懿昊 张奇 仲莉 刘素平 马骁宇文献传递 基于纳米压印光栅的两步干法刻蚀方法及外延片和激光器 一种基于纳米压印光栅的两步干法刻蚀方法及外延片和激光器,该方法包括:通过紫外纳米压印技术在GaInP材料上压印出光栅图形;将压印好的样品送入ICP设备中,进行一次刻蚀,反应气体为CH<Sub>4</Sub>/H<Sub>... 王海丽 赵懿昊 张奇 仲莉 刘素平 马骁宇文献传递 神经网络中的模拟量存储方法 王守觉 张学鹏 张奇关键词:神经网络 存储器 模拟信号 逻辑电路 980nm大功率基横模分布反馈激光器 被引量:6 2016年 980 nm波段的大功率半导体激光器作为抽运源有很重要的应用,但目前该类器件存在光束质量差和谱宽较宽的问题,影响其抽运效率和稳定性。为提高大功率半导体激光器的抽运效率,就要减小其光谱宽度,提升光束质量。而大功率基横模分布反馈激光器(DFB)通过在器件内部引入分布反馈光栅可以实现窄线宽激光的波长稳定输出,并通过优化脊型波导条件来实现基横模模式输出,提升光束质量。测试该器件的光电特性,1000μm腔长器件的阈值电流约为6 m A,斜率效率为0.71 W/A,最大稳定输出功率为130 m W。该激光器的波长随温度漂移系数为0.064 nm/K;对其远场发散角进行测量,得到快轴发散角为34°,慢轴发散角为6.3°。 张奇 赵懿昊 董振 王翠鸾 李伟 刘素平 马骁宇关键词:激光器 基横模 脊型波导 波长稳定