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康志新
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2
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供职机构:
清华大学
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合作作者
李鲁新
清华大学
胡小鹏
清华大学
薛其坤
清华大学
陈曦
清华大学
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机构
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清华大学
作者
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陈曦
2篇
薛其坤
2篇
康志新
2篇
胡小鹏
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李鲁新
年份
2篇
2015
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克努曾箱蒸发源装置
本实用新型涉及一种克努曾箱蒸发源装置,其包括:一加热装置,用以加热装载于坩埚内的源材料;及一电动挡板装置,用以控制蒸发源的开放与遮挡状态。本实用新型通过设置一加热装置可在坩埚处形成一均匀而稳定的温度分布,实现了蒸发源高精...
胡小鹏
薛其坤
陈曦
康志新
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克努曾箱蒸发源
本实用新型涉及一种克努曾箱蒸发源,其包括:一加热装置,用以加热装载于坩埚内的源材料;及一电动挡板装置,用以控制蒸发源的开放与遮挡状态。本实用新型通过设置一加热装置可在坩埚处形成一均匀而稳定的温度分布,实现了蒸发源高精度的...
胡小鹏
薛其坤
陈曦
康志新
李鲁新
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