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康志新

作品数:2 被引量:0H指数:0
供职机构:清华大学更多>>

文献类型

  • 2篇中文专利

主题

  • 2篇远程
  • 2篇远程操控
  • 2篇装载
  • 2篇坩埚
  • 2篇温度分布
  • 2篇开关
  • 2篇开关状态
  • 2篇操控
  • 1篇电流
  • 1篇电流脉冲
  • 1篇微小电流
  • 1篇小电流
  • 1篇脉冲

机构

  • 2篇清华大学

作者

  • 2篇陈曦
  • 2篇薛其坤
  • 2篇康志新
  • 2篇胡小鹏
  • 2篇李鲁新

年份

  • 2篇2015
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
克努曾箱蒸发源装置
本实用新型涉及一种克努曾箱蒸发源装置,其包括:一加热装置,用以加热装载于坩埚内的源材料;及一电动挡板装置,用以控制蒸发源的开放与遮挡状态。本实用新型通过设置一加热装置可在坩埚处形成一均匀而稳定的温度分布,实现了蒸发源高精...
胡小鹏薛其坤陈曦康志新李鲁新
文献传递
克努曾箱蒸发源
本实用新型涉及一种克努曾箱蒸发源,其包括:一加热装置,用以加热装载于坩埚内的源材料;及一电动挡板装置,用以控制蒸发源的开放与遮挡状态。本实用新型通过设置一加热装置可在坩埚处形成一均匀而稳定的温度分布,实现了蒸发源高精度的...
胡小鹏薛其坤陈曦康志新李鲁新
文献传递
共1页<1>
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