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秦风

作品数：16 被引量：5H指数：1
供职机构：电子科技大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 13篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文
  • 1篇会议论文

领域

  • 5篇电子电信
  • 3篇自动化与计算...

主题

  • 8篇品质因数
  • 6篇品质因数Q
  • 6篇谐振器
  • 5篇电极
  • 5篇压电
  • 5篇支撑梁
  • 5篇射频
  • 5篇射频通信
  • 5篇通信
  • 5篇锚点
  • 4篇压电层
  • 4篇金属
  • 4篇金属电极
  • 3篇振动
  • 2篇电容
  • 2篇电容式
  • 2篇压电薄膜
  • 2篇压电结构
  • 2篇压电式
  • 2篇支撑结构

机构

  • 16篇电子科技大学

作者

  • 16篇秦风
  • 15篇鲍景富
  • 14篇李昕熠
  • 13篇张翼
  • 9篇张超
  • 8篇张亭
  • 4篇黄裕霖
  • 1篇张超
  • 1篇车珊
  • 1篇鲍蕾蕾

传媒

  • 1篇太赫兹科学与...
  • 1篇2017年全...

年份

  • 3篇2020
  • 2篇2019
  • 5篇2017
  • 4篇2016
  • 2篇2015
共 16 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种支撑结构的MEMS压电谐振器
本发明属于射频通信及微机电系统(MEMS)技术领域，提供一种新型支撑结构的MEMS压电谐振器，用以克服现有MEMS谐振器的Q值低的缺陷；本发明MEMS压电谐振器结构中增加圆形外框和内支撑梁，采用硅振动块‑内支撑梁‑圆形外...
鲍景富李昕熠秦风张超张亭张翼
文献传递
一种具有多对驱动感应电极的电容式MEMS谐振器
本发明属于电子科学技术领域，具体提供一种具有多对驱动感应电极的电容式MEMS谐振器，用以克服现有电容式谐振器输出电流小、带负载能力差的问题；本发明MEMS谐振器，包括1个振动块、4个振动块支撑梁、4个振动块锚点、4个输入...
鲍景富秦风李昕熠鲍飞鸿张翼张亭
一种双窄支撑梁高品质因数的压电谐振器
本发明属于电子科学技术领域，涉及MEMS压电谐振器，提供一种双窄支撑梁高品质因数的压电谐振器，包括振动块、输入端支撑梁、输出端支撑梁、输入端支撑台、输出端支撑台及基底，所述振动块通过支撑梁与支撑台电气连通，支撑台设置于基...
鲍景富李昕熠秦风张超张翼张亭
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一种具有多对驱动感应电极的电容式MEMS谐振器
本发明属于电子科学技术领域，具体提供一种具有多对驱动感应电极的电容式MEMS谐振器，用以克服现有电容式谐振器输出电流小、带负载能力差的问题；本发明MEMS谐振器，包括1个振动块、4个振动块支撑梁、4个振动块锚点、4个输入...
鲍景富秦风李昕熠鲍飞鸿张翼张亭
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一种压电式双方块级联微机械滤波器
本发明属于射频通信及微机电系统(MEMS)技术领域中的原器件技术领域，提供一种压电式双方块级联微机械滤波器，包括两块相同尺寸的振动方块、耦合梁、支撑梁、支撑台、输入电极、输出电极、直流偏置电极、压电薄膜层及绝缘基底，两块...
鲍景富李昕熠陈兆隽黄裕霖秦风安佳琪张翼
一种双窄支撑梁高品质因数的压电谐振器
本发明属于电子科学技术领域，涉及MEMS压电谐振器，提供一种双窄支撑梁高品质因数的压电谐振器，包括振动块、输入端支撑梁、输出端支撑梁、输入端支撑台、输出端支撑台及基底，所述振动块通过支撑梁与支撑台电气连通，支撑台设置于基...
鲍景富李昕熠秦风张超张翼张亭
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一种利用双谐振单元抵消馈通量的MEMS压电谐振器
本发明属于微机械系统(MEMS)器件设计制造领域，提出了一种降低馈通电容影响的MEMS压电谐振器，包括差分输入/输出结构和两个MEMS压电谐振单元；其特征在于，所述两个MEMS压电谐振单元中，一个在硅基底及二氧化硅绝缘层...
鲍景富李昕熠张超黄裕霖陈兆隽秦风安佳琪张翼
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压电MEMS致动机理及其应用研究
微机电系统（Micro-Electro-Mechanical System，MEMS），在电子器件小型化和集成化的今天，成为电子信息领域日益烜赫的研究热点。伴随新材料和新技术的不断涌现和普及，压电微机电系统（Piezo-...
秦风
关键词：结构参数
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一种窄支撑梁高品质因数的压电谐振器
本发明属于电子科学技术领域，涉及MEMS压电谐振器，具体提供一种窄支撑梁高品质因数的压电谐振器，包括振动块、四条支撑梁、四个支撑台及基底，所述振动块由输入端P型半导体区、N型半导体区和输出端P型半导体区构成，所述输入端P...
鲍景富李昕熠秦风张超张翼张亭
文献传递
一种压电式双方块级联微机械滤波器
本发明属于射频通信及微机电系统(MEMS)技术领域中的原器件技术领域，提供一种压电式双方块级联微机械滤波器，包括两块相同尺寸的振动方块、耦合梁、支撑梁、支撑台、输入电极、输出电极、直流偏置电极、压电薄膜层及绝缘基底，两块...
鲍景富李昕熠陈兆隽黄裕霖秦风安佳琪张翼
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