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杨燕
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4
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供职机构:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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合作作者
陈静
中国科学院上海微系统与信息技术...
罗杰馨
中国科学院上海微系统与信息技术...
柴展
中国科学院上海微系统与信息技术...
何伟伟
中国科学院上海微系统与信息技术...
王曦
中国科学院上海微系统与信息技术...
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柴展
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陈静
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2018
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双栅双极石墨烯场效应晶体管及其制作方法
本发明提供一种双栅双极石墨烯场效应晶体管及其制作方法,包括:提供半导体衬底;在半导体衬底的正面形成石墨烯沟道层;在石墨烯沟道层上形成源电极及漏电极;去除源电极及漏电极外围的石墨烯沟道层;对石墨烯沟道层进行表面功能化处理或...
陈静
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交叉栅结构MOSFET及多叉指栅结构MOSFET的版图设计
本发明提供一种交叉栅结构MOSFET及多叉指栅结构MOSFET的版图设计,所述交叉栅结构MOSFET的版图设计包括:半导体衬底、十字形交叉栅结构、源区及漏区;所述十字形交叉栅结构包括第一条状栅及与所述第一条状栅垂直的第二...
陈静
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罗杰馨
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交叉栅结构MOSFET及多叉指栅结构MOSFET的版图设计
本发明提供一种交叉栅结构MOSFET及多叉指栅结构MOSFET的版图设计,所述交叉栅结构MOSFET的版图设计包括:半导体衬底、十字形交叉栅结构、源区及漏区;所述十字形交叉栅结构包括第一条状栅及与所述第一条状栅垂直的第二...
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双栅双极石墨烯场效应晶体管及其制作方法
本发明提供一种双栅双极石墨烯场效应晶体管及其制作方法,包括:提供半导体衬底; 在半导体衬底的正面形成石墨烯沟道层;在石墨烯沟道层上形成源电极及漏电极;去除源电极及漏电极外围的石墨烯沟道层;对石墨烯沟道层进行表面功能化处理...
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