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陈光辉

作品数：3 被引量：4H指数：1
供职机构：中国科学院高能物理研究所更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信理学机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇中文期刊文章

领域

  • 2篇电子电信
  • 1篇机械工程
  • 1篇理学

主题

  • 2篇衍射
  • 2篇软X射线
  • 2篇光栅
  • 1篇多层膜
  • 1篇亚微米
  • 1篇衍射效率
  • 1篇同步辐射装置
  • 1篇微米
  • 1篇位相
  • 1篇位相光栅
  • 1篇位相型
  • 1篇监测系统
  • 1篇光刻
  • 1篇光学
  • 1篇光学特性
  • 1篇光栅周期
  • 1篇北京同步辐射...
  • 1篇X辐射
  • 1篇X光

机构

  • 3篇中国科学院
  • 1篇复旦大学
  • 1篇中国科学院上...

作者

  • 3篇刘丽冰
  • 3篇崔明启
  • 3篇陈光辉
  • 2篇缪建伟
  • 1篇范正修
  • 1篇易葵
  • 1篇邵建达
  • 1篇徐文轩
  • 1篇唐鄂生
  • 1篇殷功杰
  • 1篇沈孝良

传媒

  • 1篇物理学报
  • 1篇光学学报
  • 1篇核电子学与探...

年份

  • 1篇1995
  • 1篇1994
  • 1篇1992
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
软X光多层膜位相型矩形光栅的实验研究及其光学特性
1994年
详细给出了软Ｘ光多层膜位相型矩形光栅的实验、分析测试结果以及在北京国家同步辐射实验室测得的光学衍射特性，井进行了分析．
袁利祥范正修殷功杰易葵邵建达崔明启刘丽冰缪建伟陈光辉
关键词：软X射线位相光栅多层膜衍射
北京同步辐射装置X光光刻束线监测系统
1992年
本文介绍了安装在北京同步辐射装置(BSRF)3B1束线上的自制同步辐射光束在线监测系统,对光束垂直位置、光斑均匀性及光刻曝光量(同步光积分光强)实现了在线监控,给出了实时在线测试结果。
崔明启刘丽冰徐文轩唐鄂生吴坚武王培玮尹福廷陈光辉
关键词：光刻X辐射
亚微米光栅周期的软X射线多层膜光栅的衍射效率研究被引量：4
1995年
简要叙述软x射线多层膜位相光栅的理论设计、实验制备,详细给出了在北京同步辐射装置3B1束线上对多层膜位相光栅衍射效率的测试,以及对测试结果的分析,并与理论值进行了比较.
袁利祥范正修殷功杰邵建达易葵崔明启刘丽冰缪建伟陈光辉沈孝良
关键词：软X射线衍射效率
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