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王立权
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供职机构:
哈尔滨理工大学测控技术与通信工程学院
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相关领域:
自动化与计算机技术
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合作作者
李赞
哈尔滨学院理学院
雷廷平
哈尔滨理工大学
施云波
哈尔滨理工大学测控技术与通信工...
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2008
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全氯取代酞菁锌的合成及其Cl2气敏性研究
本文以四氯邻苯二腈和尿素为原料,采用钼酸铵固相催化法合成了全氯取代氯酞菁锌,并通过红外、紫外光谱对其进行了表征.在SiO2基片上,利用MEMS微加工技术制造了敏感电极,采用蒸发镀膜工艺制作了气体传感器薄膜.气敏测试结果表...
雷廷平
施云波
赵文杰
李赞
王立权
关键词:
气敏性
气体传感器
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