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纳米多孔金薄膜及其微电极结构的制备: 2015年; 结合磁控溅射、lift-off工艺和脱合金法制备了纳米多孔金薄膜及其微电极结构。首先利用磁控溅射法和lift-off技术制备了金银合金叉指型微薄膜电极结构,然后采用浓硝酸通过脱合金方法进一步制备出纳米多孔金薄膜微电极结构。本文系统研究了腐蚀时间对磁控溅射金银合金薄膜去合金化所制备的纳米多孔金薄膜形貌、组分和结构的影响。利用X射线衍射、场发射扫描电子显微镜和透射电子显微镜表征了纳米多孔金薄膜微电极的结构和形貌。结果表明纳米多孔金主要呈现(111)晶面,且脱合金时间对纳米多孔结构形成与演化有明显的影响。随着腐蚀时间增加,纳米多孔金薄膜孔隙度增加,金韧带分布更加均匀,逐渐形成均匀的具有高表面积的开放式多孔结构。; 曾志刚周海军龙啸郭二娟; 关键词：LIFT-OFF 微电极

利用自生长法制备微型超级电容器的方法: 本发明公开了一种利用自生长法制备微型超级电容器的方法，通过图形化金属催化剂，在特定的溶液中原位催化自生长制备电极材料，经过后续的封装工艺之后能够得到一种性能优异，且能够保持性能稳定性的储能器件。本发明制备简单、条件温和、...; 曾志刚龙啸郭二娟石晓波周海军; 文献传递

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周海军