张永凯
- 作品数:9 被引量:5H指数:1
- 供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金:国家科技重大专项更多>>
- 相关领域:机械工程理学更多>>
- Φ300mm平面标准镜高精度支撑关键技术被引量:4
- 2015年
- 为保证大口径平面面形的高精度检测,必须对大口径平面标准镜自身的精度进行严格控制。在考虑标准镜自身重力的作用下,通过有限元方法仿真分析了不同粘胶位置以及不同镜框支撑方式下参考面面形的变化。根据分析结果,设计了口径300 mm的平面标准镜支撑方式,镜片采用12点粘胶与镜框固定,镜框下表面采用旋转补偿的方式寻找最优支撑方案。对加工完成的Φ300 mm平面标准镜进行了集成装配,装配结果显示支撑引入的参考面面形变化约为1.294 nm[均方根(RMS)值],与仿真分析结果吻合,并且满足大口径平面检测的检测需求。
- 方斌田伟王汝冬朱岩张永凯王飞
- 关键词:光学设计光学检测有限元法
- 一种气浮高精度检测工装
- 本发明一种气浮高精度检测工装,属于光学检测领域,解决现有技术中的传统检测工装支撑方式引入的应力和摩擦力所引入的变形,精度不高的技术问题;本发明包括一个平面基座,基座表面上分布有若干喷气孔,周围三个限位块,保证检测工件位固...
- 苗二龙张永凯苏东奇彭石军隋永新杨怀江
- 文献传递
- 一种用于标定标准镜的自动旋转随机小球装置
- 本发明一种用于标定标准镜的自动旋转随机小球装置,属于光学检测领域,解决了现有技术人为的旋转随机球会导致不能获得较高精度的标定,且费时费力技术问题;本发明包括气浮平台、进气孔、真空孔、支撑柱、限位环和自由小球,还包括推动环...
- 武东城张永凯苏东奇苗二龙隋永新杨怀江
- 文献传递
- 一种压电驱动的光学移相装置
- 一种压电驱动的光学移相装置属于光学位相调整技术领域,目的在于解决现有技术存在的无法实现多维运动和导向精度低的问题。本发明的一种压电驱动的光学移相装置包括:具有中心通光孔的固定座;具有中心通光孔的移动座;和设置在所述固定座...
- 张永凯田伟苗二龙隋永新杨怀江
- 文献传递
- 一种用于标定标准镜的自动旋转随机小球装置
- 本发明一种用于标定标准镜的自动旋转随机小球装置,属于光学检测领域,解决了现有技术人为的旋转随机球会导致不能获得较高精度的标定,且费时费力技术问题;本发明包括气浮平台、进气孔、真空孔、支撑柱、限位环和自由小球,还包括推动环...
- 武东城张永凯苏东奇苗二龙隋永新杨怀江
- 文献传递
- 支撑刚度对激光干涉测量噪声的影响研究
- 2017年
- 激光干涉测量技术使用范围广,测量快速高效,在精密位移测量中具有非常大的使用空间。测量噪声是干扰激光测量准确性的重要因素,文章以干涉仪移相器为例,分析了支撑刚度对激光测量噪声的影响关系。结果表明在更换刚性较好的支撑零件下可以改善噪声影响,使测量系统噪声从之前的±6.5 nm降为±3.5 nm,对于提高位移测量准确性具有较大的意义。
- 缑旭张永凯彭石军田伟
- 关键词:刚度噪声激光干涉移相器
- 输电线路故障检测装置及方法
- 本发明实施例公开了一种输电线路故障检测装置,包括:光窗口、分光镜、红外图像采集装置、紫外物镜、宽谱段紫外滤光片、日盲紫外滤光片、紫外探测器、图像融合处理系统和输出装置;输电线路辐射的光透过光窗口,长波红外谱段的光经分光镜...
- 张永凯周跃闫丰隋永新
- 文献传递
- 一种压电驱动的光学移相装置
- 一种压电驱动的光学移相装置属于光学位相调整技术领域,目的在于解决现有技术存在的无法实现多维运动和导向精度低的问题。本发明的一种压电驱动的光学移相装置包括:具有中心通光孔的固定座;具有中心通光孔的移动座;和设置在所述固定座...
- 张永凯田伟苗二龙隋永新杨怀江
- 文献传递
- 交叉滚柱导轨运动台模态研究被引量:1
- 2015年
- 利用三维建模软件UG建立了50mm交叉滚柱导轨运动台三维模型,利用有限元分析软件ANASY Workbench14对交叉滚柱导轨运动台进行模态频率和振型分析,详细研究了模态分析过程中接触单元设置、导轨初始预压对模态分析的影响。设计了200mm交叉滚柱导轨运动台,进行了模态分析及测试,验证了仿真分析方法的有效性,为交叉滚柱导轨运动台的设计提供重要依据。
- 张永凯田伟王汝冬方斌
- 关键词:模态分析