采用化学溶液法结合层层旋涂退火工艺,在掺氟氧化锡导电玻璃基片上制备了BiFe_(0.9)5Mn_(0.05)O_(3)和Bi_(0.9)Nd_(0.1)FeO_(3)纳米晶铁电薄膜,并分析比较了其微结构和铁电性能。结果表明:2组分样品均为单相多晶钙钛矿结构,晶粒细小均匀,表面平整,结构致密。两薄膜均获得了饱和电滞回线,且BiFe_(0.9)5Mn_(0.05)O_(3)薄膜具有向上的择优取向极化和更优异的铁电性能,其剩余极化强度(Pr)达60mC·cm^(–2),在1~50 k Hz频率范围与25~200℃温度区间内铁电极化响应稳定,保持时间长达1′10^(3) s工作与反复极化翻转高达1′10^(9)次表现出优异的电荷保持力和抗疲劳稳定性。
