赵文君
- 作品数：6 被引量：4H指数：1
- 供职机构：大连理工大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信电气工程自动化与计算机技术经济管理更多>>
- 基于电化学刻蚀与微电铸工艺的微流控芯片模具制作被引量：3
- 2017年
- 为解决微流控芯片模具在微电铸工艺中铸层与基底结合力差的问题,在光刻工艺的基础上,采用掩膜电化学刻蚀和微电铸相结合的方法,制作出了结合力较好的镍基双十字微流控芯片模具。针对掩膜电化学刻蚀的工艺参数进行了试验研究,选定了制作微流控芯片模具的最佳工艺参数,解决了酸洗引起胶膜脱落失效、刻蚀引起侧蚀等问题。使用剪切强度表征界面结合强度,运用剪切法测量了微电铸层与基底的剪切强度,定量分析了酸洗工艺和刻蚀工艺的参数对界面结合强度的影响。试验结果表明,酸洗20s后电铸层与基底的剪切强度相对于直接电铸提高了98.5%,刻蚀5min后剪切强度提高了203.6%。刻蚀5min后的剪切强度相对于酸洗20s后电铸的剪切强度提高了53.0%。本文提出的方法能够有效提高铸层与基底的界面结合强度,延长微流控芯片模具的使用寿命。
- 杜立群李庆峰李爰琪赵文君
- 关键词：结合力电化学刻蚀微电铸
- 基于纳米压痕技术的兆声辅助电铸微器件残余应力研究
- 2019年
- 微电铸已成为制作金属微器件的关键技术之一,然而微电铸层中过大的残余应力会给微器件的尺寸精度与使用寿命带来极大的影响。针对一款悬臂型后座保险锁微器件在电铸阶段出现的变形现象进行分析,基于纳米压痕技术,以有、无兆声辅助电铸微器件为被测样片开展了应力测试实验,讨论了纳米压痕技术中两种常用的计算模型对应力测试结果的影响。结果表明:兆声辅助电铸器件中的残余应力相对无兆声辅助电铸器件减小了57.84%,验证了兆声辅助电铸能有效减小铸层中残余内应力,并从声流和稳态空化两种理论解释了兆声辅助电铸过程中铸层残余内应力减小的原因。
- 杜立群赵文君翟科杜成权魏壮壮姬学超
- 关键词：纳米压痕法
- 山西企业知识产权管理规范系统的设计与实现
- 《企业知识产权管理规范》是我国实施知识产权战略的一项重要任务，在提高企业知识产权创造、运用、保护和管理能力及国际经济竞争方面起着重要的作用。如何加快《企业知识产权管理规范》在山西的推广进度，提高山西省科技型企业的科技创新...
- 赵文君
- 关键词：管理规范知识产权信息系统
- 文献传递
- 一种提高金属微电铸均匀性的兆声电铸设备及方法
- 本发明提供了一种提高金属微电铸均匀性的兆声电铸设备及方法，将双向交替兆声波耦合进电铸过程中，该设备包括兆声铸槽，所述兆声铸槽包括压电陶瓷组、电铸槽、防水槽和水浴槽。电铸槽在防水槽内部贴壁固定，防水槽在水浴槽内通过与防水槽...
- 杜立群翟科王伟泰朱和卿赵文君赵雯
- 文献传递
- 基于微电铸工艺的低应力MEMS安保机构制作
- 随着微机电系统的发展，基于UV-LIGA技术制作的金属微器件在武器装备和航空航天等领域的应用日益广泛。然而，微电铸器件中残余应力过大会导致铸层出现变形和分层等现象，这将给微器件的尺寸精度、机械性能和使用寿命带来极为不利的...
- 赵文君
- 关键词：微机电系统残余应力
- 文献传递
- 一种提高金属微电铸均匀性的兆声电铸设备及方法
- 本发明提供了一种提高金属微电铸均匀性的兆声电铸设备及方法，将双向交替兆声波耦合进电铸过程中，该设备包括兆声铸槽，所述兆声铸槽包括压电陶瓷组、电铸槽、防水槽和水浴槽。电铸槽在防水槽内部贴壁固定，防水槽在水浴槽内通过与防水槽...
- 杜立群翟科王伟泰朱和卿赵文君赵雯
