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王晓卫

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文专利

主题

  • 1篇氧化炉
  • 1篇气体泄漏
  • 1篇气体压力
  • 1篇安全报警
  • 1篇安全门
  • 1篇报警
  • 1篇报警系统

机构

  • 1篇北京七星华创...

作者

  • 1篇曾艳丽
  • 1篇王晓卫
  • 1篇程朝阳

年份

  • 1篇2010
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
300mm立式氧化炉的报警系统
本实用新型公开了一种300mm立式氧化炉的报警系统，其特征在于：设有冷却系统水流量报警装置、工艺气体压力报警装置、源温控制与漏液报警装置、工艺气体泄漏报警装置、内环境压力报警装置、设备安全门互锁报警装置、外点火器火焰检测...
程朝阳曾艳丽王晓卫米奇.阿伽穆罕默德
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