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王营营

作品数：17 被引量：0H指数：0
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司更多>>
相关领域：文化科学自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 17篇中文专利

领域

  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇文化科学

主题

  • 6篇液罐
  • 6篇储液罐
  • 4篇螺母
  • 4篇紧固
  • 4篇紧固件
  • 3篇循环泵
  • 3篇药液
  • 3篇药液浓度
  • 3篇支撑脚
  • 3篇三通阀
  • 3篇气动
  • 3篇自动化
  • 3篇自动化控制
  • 3篇自动化控制技...
  • 3篇外部设备
  • 3篇小孔
  • 3篇连接工艺
  • 3篇均匀分布
  • 3篇控制点
  • 3篇控制技术

机构

  • 17篇北京七星华创...

作者

  • 17篇王营营
  • 12篇裴立坤
  • 9篇初国超
  • 9篇何金群
  • 5篇李广义
  • 4篇徐俊成
  • 4篇赵宏宇
  • 1篇吴仪
  • 1篇高浩

年份

  • 3篇2015
  • 2篇2014
  • 10篇2013
  • 2篇2012
共 17 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
补液装置
本实用新型公开了一种补液装置，包括：储液罐、为所述储液罐提供化学药液的化学药液供给管路、为所述储液罐提供超纯水的超纯水供给管路、为所述储液罐定量补给超纯水的超纯水定量补给管路和循环管路，所述循环管路的一端与所述储液罐出液...
初国超何金群王营营裴立坤
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化学药液供给系统
本发明涉及自动化控制技术，具体公开了一种化学药液供给系统。所述系统包括主用储液罐、备用储液罐、供液装置和控制器，其中：供液装置分别与主用储液罐、备用储液罐以及控制器相连接；主用储液罐及备用储液罐用于储存并提供化学药液；供...
初国超何金群裴立坤王锐廷王营营
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支撑脚装置
本发明公开了一种支撑脚装置，包括：支撑脚本体、支撑脚螺母和支撑环，所述支撑脚本体位于支撑环上表面，所述支撑脚螺母穿过支撑环下表面与所述支撑脚本体通过紧固件紧固，所述支撑脚本体和支撑脚螺母夹紧所述支撑环。本发明的支撑脚装置...
李广义赵宏宇裴立坤徐俊成王营营
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化学液存储装置
本发明公开了一种化学液存储装置，包括：化学液回收管路，所述回收管路呈螺旋状并伸入化学液存储容器中，其管壁均匀分布小孔并且末端封堵；化学液循环管路，所述循环管路贯穿于呈螺旋状的所述回收管路中并且伸入化学液存储容器中，其管壁...
王营营
化学液存储装置
本实用新型公开了一种化学液存储装置，包括：化学液回收管路，所述回收管路呈螺旋状并伸入化学液存储容器中，其管壁均匀分布小孔并且末端封堵；化学液循环管路，所述循环管路贯穿于呈螺旋状的所述回收管路中并且伸入化学液存储容器中，其...
王营营
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补液装置
本发明公开了一种补液装置，包括：储液罐、为所述储液罐提供化学药液的化学药液供给管路、为所述储液罐提供超纯水的超纯水供给管路、为所述储液罐定量补给超纯水的超纯水定量补给管路和循环管路，所述循环管路的一端与所述储液罐出液口连...
初国超何金群王营营裴立坤
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化学药液分配装置
本发明涉及半导体制造领域，具体涉及一种化学药液分配装置。该装置包括储存容器，其内部储存化学药液，其顶部设置有注液入口和回液入口，其底部设置有与循环泵的输入端连接的出液口；采样阀，其为三通阀，其输入端连接循环泵的输出端，采...
王营营何金群初国超裴立坤贾星杰
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化学药液分配装置
本实用新型涉及半导体制造领域，具体涉及一种化学药液分配装置。该装置包括储存容器，其内部储存化学药液，其顶部设置有注液入口和回液入口，其底部设置有与循环泵的输入端连接的出液口；采样阀，其为三通阀，其输入端连接循环泵的输出端...
王营营何金群初国超裴立坤贾星杰
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一种板夹块
本实用新型公开了一种板夹块，涉及面板安装领域。所述板夹块包括：外套、旋转体和磁铁；所述外套内部，沿所述外套的长度方向开设有用于放置紧固件的紧固孔；在所述紧固孔的前侧壁和/或后侧壁上嵌设有所述磁铁；所述旋转体连接所述外套的...
李广义赵宏宇吴仪贾星杰王营营
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化学药液供给系统
本实用新型涉及自动化控制技术，具体公开了一种化学药液供给系统。所述系统包括主用储液罐、备用储液罐、供液装置和控制器，其中：供液装置分别与主用储液罐、备用储液罐以及控制器相连接；主用储液罐及备用储液罐用于储存并提供化学药液...
初国超何金群裴立坤王锐廷王营营
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