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赵晨博

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇中文专利

主题

  • 2篇突起
  • 2篇门板
  • 2篇门框
  • 2篇密封
  • 2篇密封条
  • 2篇凹陷
  • 2篇半导体
  • 2篇半导体设备
  • 1篇元器件
  • 1篇水冷
  • 1篇排气罩
  • 1篇热量
  • 1篇过热
  • 1篇风门

机构

  • 3篇北京七星华创...

作者

  • 3篇赵晨博
  • 2篇王丽荣
  • 2篇宋新丰
  • 1篇董金卫

年份

  • 1篇2015
  • 2篇2014
共 3 条 记 录，以下是 1-3
全选 清除 导出
排序方式：
一种热量排放装置
本实用新型涉及半导体热处理设备领域，尤其涉及一种置于炉体顶部的热量排放装置。该装置包括罩在炉体外的主箱体，顶部设置有与所述主箱体连通的排气罩，其中，所述排气罩内设有水冷部件；风道，与所述排气罩侧壁的通风口相连；风门，设置...
赵晨博董金卫
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半导体设备门的密封装置
本发明公开了一种半导体设备门的密封装置，包括门板和门框；所述门板的侧边设有向门板内表面凹陷的凹槽，所述凹槽内设有密封条，所述密封条为柔性件；所述门框的侧边且与所述密封条对齐处设有压板条，所述压板条的外侧壁上设有至少一个向...
赵晨博宋新丰王丽荣
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一种半导体设备门的密封装置
本实用新型公开了一种半导体设备门的密封装置，包括门板和门框；所述门板的侧边设有向门板内表面凹陷的凹槽，所述凹槽内设有密封条，所述密封条为柔性件；所述门框的侧边且与所述密封条对齐处设有压板条，所述压板条的外侧壁上设有至少一...
赵晨博宋新丰王丽荣
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共1页<1>
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