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杨晖
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
供职机构:
中国航空工业集团公司北京航空精密机械研究所
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相关领域:
机械工程
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合作作者
刘祎
中国航空工业集团公司北京航空精...
谢敬辉
北京理工大学光电学院
张浩
北京理工大学光电学院
康果果
清华大学
莫晓丽
北京理工大学光电学院
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杨晖
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2009
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非球面检测中衍射光学补偿器的校准定位研究
被引量:1
2009年
在非球面检测中,为了消除衍射光学补偿器的位置偏差.在补偿器的外围设计、制作了位相型反射式菲涅耳波带板作为衍射光学校准器.利用微细加工手段,将补偿器和校准器整体集成在同一片基上.通过位相型反射式菲涅耳波带板的自校准功能,使其衍射光波与参考光波干涉,形成校准干涉条纹.测量时,调节校准干涉条纹成为最简单的形式,即可校正补偿器的离焦、偏心和倾斜误差,实现位置的精确校准.实验中,得到了近似零校准干涉条纹,有效地消除了补偿器的装调误差对测量的影响.
康果果
谢敬辉
张浩
莫晓丽
杨晖
刘祎
关键词:
非球面检测
衍射光学元件
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