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杨晖

作品数:1 被引量:1H指数:1
供职机构:中国航空工业集团公司北京航空精密机械研究所更多>>
相关领域:机械工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 1篇衍射
  • 1篇衍射光学
  • 1篇衍射光学元件
  • 1篇校准
  • 1篇光学
  • 1篇光学元件
  • 1篇非球面
  • 1篇非球面检测
  • 1篇补偿器

机构

  • 1篇北京理工大学
  • 1篇清华大学
  • 1篇中国航空工业...

作者

  • 1篇莫晓丽
  • 1篇康果果
  • 1篇张浩
  • 1篇谢敬辉
  • 1篇刘祎
  • 1篇杨晖

传媒

  • 1篇光子学报

年份

  • 1篇2009
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
非球面检测中衍射光学补偿器的校准定位研究被引量:1
2009年
在非球面检测中,为了消除衍射光学补偿器的位置偏差.在补偿器的外围设计、制作了位相型反射式菲涅耳波带板作为衍射光学校准器.利用微细加工手段,将补偿器和校准器整体集成在同一片基上.通过位相型反射式菲涅耳波带板的自校准功能,使其衍射光波与参考光波干涉,形成校准干涉条纹.测量时,调节校准干涉条纹成为最简单的形式,即可校正补偿器的离焦、偏心和倾斜误差,实现位置的精确校准.实验中,得到了近似零校准干涉条纹,有效地消除了补偿器的装调误差对测量的影响.
康果果谢敬辉张浩莫晓丽杨晖刘祎
关键词:非球面检测衍射光学元件
共1页<1>
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