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刘红丽

作品数：11 被引量：0H指数：0
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司更多>>
相关领域：水利工程机械工程金属学及工艺冶金工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 11篇中文专利

领域

  • 1篇冶金工程
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇机械工程
  • 1篇水利工程

主题

  • 5篇排气
  • 5篇半导体
  • 5篇半导体设备
  • 4篇炉体
  • 3篇气动
  • 3篇气动阀
  • 3篇微环境
  • 3篇控制装置
  • 2篇装卸
  • 2篇阀体
  • 2篇传送
  • 1篇氮气
  • 1篇导流板
  • 1篇底板
  • 1篇底面
  • 1篇调节装置
  • 1篇顶面
  • 1篇定位机构
  • 1篇对接
  • 1篇循环风机

机构

  • 11篇北京七星华创...

作者

  • 11篇刘红丽
  • 7篇康飞
  • 5篇邱江虹
  • 4篇赵燕平
  • 4篇王丽荣
  • 3篇宋新丰
  • 3篇侯建明
  • 1篇邱江红

年份

  • 7篇2017
  • 1篇2016
  • 3篇2014
共 11 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种热处理设备的热偶安装固定装置
本发明公开了一种热处理设备的热偶安装固定装置，包括：热偶固定块，其前后两侧向内相向设有相通的一至若干对热偶套管连接孔和热偶连接孔，并设有通向热偶连接孔的止动结构；热偶固定支架，可拆卸连接热偶固定块，并与热处理设备固定，热...
刘红丽赵燕平侯建明康飞
一种半导体设备的处理腔室的控氧控压系统
本发明提供了一种半导体设备的处理腔室的控压控氧系统，该系统将氮气输入管路设置为并联的两路氮气输入支路，在两路氮气输入支路上均连接有流量计，可以准确的控制向处理腔室中充入的氮气量。为防止处理腔室内的过压而造成器件的损坏，处...
刘红丽卢言晓康飞邱江虹
一种炉体装卸机构
本发明提供了一种炉体装卸机构，包括：主体，前传送支架调整结构，前传送支架，中间传送架，后传送支架，炉体固定支架，安装炉体时，将炉体装到后传送支架上，推动炉体至中间传送架，炉体固定支架固定炉体，推动主体至目标设备，前传送支...
刘红丽赵燕平邱江虹康飞
一种半导体设备的炉体排气装置
本发明公开了一种半导体设备的炉体排气装置，包括：水平导流板，设于炉体正上方，并与主机箱体顶部内壁固定；倾斜导流板，相连设于水平导流板一侧，并向下倾斜连接至主机箱体侧壁；第一、第二排气管道，第一排气管道水平设于倾斜导流板下...
刘红丽邱江虹康飞赵燕平
一种半导体设备的微环境排气控制装置
本发明公开了一种半导体设备的微环境排气控制装置，将气动阀的气缸通过一开口部具有水平外延裙边的倒置环形凹槽形气缸支撑体与一上集气盒连接，一下集气盒连通微环境，开有支排排气孔，上集气盒开有设备主排排气孔和气动阀阀体进入孔，上...
刘红丽王丽荣宋新丰
文献传递
一种热处理装置的快速风冷结构
本发明公开了一种热处理装置的快速风冷结构，快速风冷结构嵌设于保温层中，包括：环状侧部保温块，设于保温层侧壁处，其圆周设有上下贯通的纵向风道，沿纵向风道侧壁设有连通炉膛的多数个径向风道；环状顶部进风保温块，设于保温层顶部处...
康飞赵燕平刘红丽邱江红
文献传递
一种排气调节装置
本实用新型公开了一种排气调节装置，设置在主排气管上，其中排气调节装置包括设置在主排气管侧壁上的排气孔，还包括调节板和调节螺钉，用调节螺钉将调节板固定在主排气管外壁上分布有排气孔的位置，所述调节板上设置有通风孔，且调节板的...
王丽荣刘红丽
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一种半导体设备的微环境排气控制装置
本发明公开了一种半导体设备的微环境排气控制装置，将气动阀的气缸通过一开口部具有水平外延裙边的倒置环形凹槽形气缸支撑体与一上集气盒连接，一下集气盒连通微环境，开有支排排气孔，上集气盒开有设备主排排气孔和气动阀阀体进入孔，上...
刘红丽王丽荣宋新丰
文献传递
一种半导体设备的微环境排气控制装置
本实用新型公开了一种半导体设备的微环境排气控制装置，将气动阀的气缸通过一开口部具有水平外延裙边的倒置环形凹槽形气缸支撑体与一上集气盒连接，一下集气盒连通微环境，开有支排排气孔，上集气盒开有设备主排排气孔和气动阀阀体进入孔...
刘红丽王丽荣宋新丰
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一种可快速定位的炉体装卸装置
本发明公开了一种可快速定位的炉体装卸装置，通过在热处理设备和炉体装卸装置的对应位置之间设置炉体装卸定位机构，包括分设于热处理设备底板上的一对限位单元和对应设于炉体装卸装置主体支架底部的框架前端的一对滚动单元，限位单元设有...
邱江虹刘红丽康飞侯建明
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