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刘迎春
作品数:
1
被引量:11
H指数:1
相关领域:
理学
机械工程
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秦自楷
山东大学
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2000
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双端石英音叉力敏传感器的原理与设计
被引量:11
2000年
对双端石英音叉横向弯曲振动的原理、力频特性、激励方式、电极的设置、制备方法及实验结果进行了深入的分析与讨论 .用光刻、化学腐蚀、离子溅射和激光调频等技术在一个石英片上可同时设计和生产出几十个甚至上百个超小型的双端石英音叉 .该音叉作为力敏传感器 。
岳书彬
孙秀英
秦自楷
刘迎春
丁福玲
关键词:
石英
力敏传感器
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