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王军军

作品数：1 被引量：5H指数：1
供职机构：中国科学院兰州化学物理研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：一般工业技术机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇等离子体化学...
  • 1篇性能研究
  • 1篇摩擦学
  • 1篇摩擦学性能
  • 1篇金刚石薄膜
  • 1篇类金刚石
  • 1篇类金刚石薄膜
  • 1篇化学气相
  • 1篇化学气相沉积
  • 1篇过渡层
  • 1篇SI

机构

  • 1篇中国科学院
  • 1篇中国科学院大...

作者

  • 1篇王立平
  • 1篇王军军
  • 1篇张广安
  • 1篇蒲吉斌

传媒

  • 1篇摩擦学学报（...

年份

  • 1篇2014
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
Si过渡层类金刚石薄膜界面优化及其性能研究被引量：5
2014年
本文中利用等离子体化学气相沉积法,制备了具有Si过渡层的DLC薄膜.利用俄歇深度分析的方法,研究了Si过渡层沉积条件如电压、气压和气源对Si过渡层的影响;利用薄膜应力分布测试仪和划痕仪,研究了不同沉积条件下制备的Si过渡层对类金刚石薄膜内应力和附着力特性的影响;利用摩擦磨损仪,分析比较了薄膜的摩擦性能.研究表明:DLC薄膜与基底之间形成(Fe+Si+O混合层)/Si/(Si+C混合层)过渡层.过渡层制备过程中,气压、电压和Ar/Si H4比例升高,会导致过渡层中Si层厚度的减小.这种过渡层在一定范围内提高了DLC薄膜与基体之间的结合力,缓解了因薄膜与基底间不匹配而产生的应力.在大气环境下,优化的DLC薄膜与GCr 15钢对偶的摩擦系数及磨损率可低至0.02和8.2×10-14m3/(N·m).
王军军蒲吉斌张广安王立平
关键词：类金刚石薄膜等离子体化学气相沉积摩擦学性能
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