赵智亮
- 作品数:9 被引量:23H指数:3
- 供职机构:成都精密光学工程研究中心更多>>
- 发文基金:科技型中小企业技术创新基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域:机械工程理学金属学及工艺更多>>
- 半导体双波长透射式红外干涉仪的研制及应用被引量:3
- 2018年
- 采用635nm波长半导体可见光激光和10.5μm波长半导体红外激光作为干涉光源,设计了635nm和10.5μm双波段共光路透射式红外干涉仪,实现了可见光波段干涉测试与红外光波段干涉测试共光路,且双光路共用可见光对准。双波段共用机械式相移系统,并采用635nm测试光分段驻点标定10.5μm测试时相移器的长行程误差。研制的双波长红外干涉仪系统的红外测试精度达到PV优于0.05λ,RMS优于0.02λ,系统重复性RMS优于0.001λ。采用该干涉仪测试口径为400mm×400mm,离轴量为800mm的离轴非球面,得到边缘最大偏差值为21.9μm,能够实现大口径离轴非球面从粗磨到精磨高精度加工面形的全过程干涉测试。
- 赵智亮赵智亮陈立华刘杰刘敏
- 关键词:光学检测离轴非球面
- 合成口径子镜测试拼接技术被引量:2
- 2015年
- 为了实现合成口径非球面系统共相位,提出一套测试拼接方法。对抛物面系统面形进行曲面拟合,建立面形坐标矩阵,根据三维坐标变换矩阵直接计算出子镜平移偏摆调整量达到合成口径共相位,计算机上模拟调整得到拼接系统精度与设定精度相当。搭建了一套测试拼接系统,使用红外双波长相移干涉仪检测Φ600 mm抛物面子镜系统面形,根据拟合面形数据得到子镜调整量校正子镜。实验得到合成口径系统子镜失调误差与单一口径面形加工精度λ/15相当。
- 曹睿赵智亮郑列华张志华淳于永昕郑万国
- 关键词:抛物面曲面拟合
- 基于MSExcel的熔炼优化配料系统被引量:3
- 2000年
- 在炉料数据库的支持下,开发了一个优化配料系统,用 MSExcel的 Solver工具获得最低成本配料,并给出了优化配料的实例。
- 赵智亮钱翰城夏伯才王永强
- 关键词:合金铸造熔炼
- 相移干涉测量中的相移误差自适应修正研究
- 本文分析了相移干涉测量过程中相移误差的产生原因,研究了基于迭代最小二乘算法的相移误差修正算法,实现了任意两幅干涉图间相对移相量的计算。采用基于迭代最小二乘算法相移误差修正算法结合光、机、电、算四系统,实现相移干涉测量过程...
- 赵智亮夏伯才陈立华淳于永昕张志华郑万国
- 文献传递
- 光学元件面形在位检测装置及其检测方法
- 本发明提供一种环抛过程中光学元件面形的在位检测装置。光学元件面形在位检测装置,按光路依次包括:平面动态干涉仪和光路转向反射镜。采用本发明的装置在位检测光学元件的面形时,平面动态干涉仪沿水平方向射出的测试光,经光路转向反射...
- 廖德锋谢瑞清赵世杰陈贤华王健陈健赵智亮许乔
- 文献传递
- 相移干涉测量中相移误差的自修正被引量:14
- 2013年
- 分析了相移干涉测量过程中相移误差产生的原因,研究了基于迭代最小二乘算法的相移误差修正法,实现了任意两幅干涉图间相对移相量的计算和自适应校正。基于光、机、电、算四系统,实现任意步长的3幅以上干涉图像的采集,用迭代最小二乘法计算任意两幅干涉图间的相对移相量,然后将其闭环反馈至硬件相移系统,自动修正相移步长为给定量的特征相移值,从而完成干涉仪相移误差的自修正。构建了相移误差自校正系统,通过实际干涉测量验证了算法的正确性和相移误差自修正系统的可行性。结果表明,自适应修正后相移量相对误差<5%,面形RMS测量重复性<λ/1 000,实现了高精度、高效率的相移误差自适应修正。
- 赵智亮夏伯才陈立华张志华郑万国
- 关键词:相移误差
- Φ200mm口径长焦距球面干涉测试及装备被引量:1
- 2019年
- 为实现对大尺寸光学材料及系统元件的高精度对准测试,设计了一种新型Φ200mm口径长焦距准直干涉测试装置。该装置以球面标准镜作为参考镜,结合斐索型透射式干涉机制和长焦距准直测试原理对凹球面大曲率半径光学元件进行面形精度检测,最大测试口径为Φ226.67mm,且球面标准镜和球面标准反射镜同轴共球心,大幅度减小了测试空腔距离。结果表明,该系统空腔测试精度PV值为0.097λ@632.8nm,RMS值为0.013λ@632.8nm,系统重复稳定性优于λ/500@632.8nm,可实现曲率半径为7500~8500mm测试,且大曲率半径测试误差小于1/1000。
- 赵智亮赵智亮陈立华陈立华陈辉
- 关键词:球面干涉仪
- 合成口径子镜测试拼接技术研究
- <正>为了实现合成口径非球面系统共相位提出一套测试拼接方法。对抛物面系统面形进行曲面拟合,建立面形坐标矩阵,根据三维坐标变换矩阵直接计算出子镜平移偏摆调整量达到合成孔径共相位,计算机上模拟调整得到拼接系统精度与设定精度相...
- 曹睿赵智亮张志华淳于永昕郑万国
- 文献传递
- 光学元件面形在位检测装置
- 本实用新型提供一种环抛过程中光学元件面形的在位检测装置。光学元件面形在位检测装置,按光路依次包括:平面动态干涉仪和光路转向反射镜。采用本实用新型的装置在位检测光学元件的面形时,平面动态干涉仪沿水平方向射出的测试光,经光路...
- 廖德锋谢瑞清赵世杰陈贤华王健陈健赵智亮许乔
- 文献传递