常敏
- 作品数：9 被引量：33H指数：5
- 供职机构：浙江工业大学机电工程学院更多>>
- 发文基金：浙江省自然科学基金浙江省科技厅重点资助项目浙江省科技厅科技计划项目更多>>
- 相关领域：金属学及工艺化学工程自动化与计算机技术更多>>
- 功能陶瓷超精密加工技术被引量：12
- 2003年
- 介绍了国内外功能陶瓷超精密加工技术的研究现状及加工方法 ,阐述了超精密抛光技术的原理及影响加工质量的因素 ,指出了功能陶瓷超精密抛光技术的发展趋势。
- 赵萍范鹏飞袁巨龙吕冰海常敏
- 关键词：功能陶瓷超精密加工技术抛光技术
- 超精密修正环型平面抛光机运动特性的分析
- 材料的超精密加工已成为最前沿的研究领域之一。为了获得元器件的高性能,保证极高的加工质量,一种采用专家数据库智能控制系统的修正环型超精密平面抛光机被开发出来。在运动设计原理上,使工件加工表面各点相对于抛光盘的抛光线速度相等...
- 吕冰海袁巨龙常敏赵文宏潘峰
- 关键词：运动特性
- 文献传递
- 智能型纳米级抛光机的运动分析被引量：6
- 2003年
- 分析了智能型纳米级抛光机运动的设计原理 ,使工件加工表面各点相对于抛光盘的抛光线速度相等 ,且工件表面各点运动轨迹不重复 ;提出了“低速起动—无级提速—恒速加工—低速修整—低速停止”的加工运动模式 ,采用光栅测量和微机控制技术 ,将抛光盘总转数的精度控制在± 0 .5°以内 ,保证加工余量去除误差在 1nm以内 ,结合合理的加工工艺 。
- 赵萍吕冰海袁巨龙常敏赵文宏潘锋
- 关键词：平面度
- 化学机械抛光技术概述
- 化学机械抛光(ChemicalMechanicalPolishing,CMP)技术有着悠久的历史,由于这项技术可用于硅集成电路(SiIC)以及各种高性能和特殊用途的集成电路制造中,现已引起了人们广泛的研究兴趣.本文通过查...
- 常敏袁巨龙楼飞燕王志伟
- 关键词：化学机械抛光超精密加工集成电路
- 功能陶瓷超精密加工技术的现状与发展
- 介绍了功能陶瓷超精加工技术,尤其是超精密抛光的技术概要,对各种先进的超精密抛光原理与方法进行了简单描述与评价。阐述了功能陶瓷超精密抛光技术的国内外研究现状与发展趋势,归纳了技术发展的特点,提出了功能陶瓷超精密抛光技术的发...
- 袁巨龙吕冰海常敏
- 关键词：功能陶瓷超精密加工技术抛光
- 文献传递
- 智能型纳米级抛光机的控制系统被引量：6
- 2003年
- 介绍了智能型纳米级抛光机的智能控制系统 ,对其实现方法进行了研究 ,分析了智能控制系统的组成 ,提出并建立了基于专家控制系统的解决方案。采用WindowsCE软件平台 ,图形化界面功能指示 ,以及采用高可靠性的实时操作系统、超级数模混合RISC嵌入式处理器、高精度光栅传感器、无级调速、无刷直流电动机驱动等技术 。
- 赵文宏袁巨龙吕冰海常敏邢彤赵萍
- 关键词：嵌入式处理器控制系统智能控制
- 功能陶瓷超精密加工技术的现状与发展被引量：5
- 2003年
- 介绍了功能陶瓷超精密加上技术,尤其是超精密抛光的技术概要,对各种先进的超精密抛光原理与方法进行了简单描述与评价。阐述了功能陶瓷超精密抛光技术的国内外研究现状与发展趋势,归纳了技术发展的特点,提出了功能陶瓷超精密抛光技术的发展前景。
- 袁巨龙吕冰海常敏
- 关键词：功能陶瓷超精密加工抛光
- 纳米级超精密平面抛光机工件微量去除的控制方法被引量：6
- 2003年
- 研制了一种采用专家数据库智能控制系统的纳米级超精密平面抛光机,对几种功能陶瓷进行了平面抛光实验,并分析了修整环型抛光机抛光过程中工件材料的去除函数,即材料总去除量与抛光盘转数(抛光路径长度)之间的关系。
- 常敏袁巨龙吕冰海赵文宏潘峰
- 关键词：控制方法
- 陶瓷球研磨成型机理的研究被引量：7
- 2003年
- 讨论了陶瓷球的成球机理,分析了一种新的研磨加工方法,即采用三块能够独立选择的研磨盘,通过控制研磨盘的转速,调整自旋转角的大小,可在较大的范围内取值,同时对计算机仿真和实验的结果进行了对比。结果表明:该方法结合化学机械抛光(CMP)等先进的抛光工艺,能够有效地提高陶瓷球的加工效率和质量。
- 常敏吕冰海王志伟楼飞燕袁巨龙
- 关键词：陶瓷球
