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徐晨阳

作品数：4 被引量：0H指数：0
供职机构：浙江大学更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇中文专利

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 2篇悬臂
  • 2篇氧化乙烯
  • 2篇乙烯
  • 2篇诱导剂
  • 2篇石英管
  • 2篇磷酸铝
  • 2篇磷源
  • 2篇氯化铝
  • 2篇聚氧
  • 2篇聚氧化乙烯
  • 2篇干凝胶
  • 2篇感器
  • 2篇半导体
  • 2篇半导体制造
  • 2篇半导体制造技...
  • 2篇CVD
  • 2篇长悬臂
  • 2篇称重系统
  • 2篇传感
  • 2篇传感器

机构

  • 4篇浙江大学

作者

  • 4篇徐晨阳
  • 2篇杨辉
  • 2篇项荣
  • 2篇李文彦
  • 2篇郭兴忠
  • 2篇王凌峰

年份

  • 2篇2024
  • 1篇2015
  • 1篇2014
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
多孔磷酸铝块体的制备方法
本发明公开了一种多孔磷酸铝块体的制备方法，以六水合氯化铝为铝源，以磷酸为磷源，以去离子水与无水甲醇的混合物作为溶剂，以环氧丙烷为凝胶促进剂，以聚氧化乙烯为相分离诱导剂；依次进行如下步骤：1）、将六水合氯化铝和聚氧化乙烯置...
郭兴忠杨辉徐晨阳李文彦王应恺
文献传递
一种CVD在线原位称重系统和方法
本发明公开了一种CVD在线原位称重系统和方法，属于半导体制造技术领域。本申请考虑传感器无法应用于石英管内的高温环境下，采用了长悬臂连接称重传感器和样品载体，根据力矩原理计算得到传感器测量值，同时，考虑高温低压环境，预先获...
项荣戚杭哲徐晨阳马亦诚王凌峰郑一格
多孔磷酸铝块体的制备方法
本发明公开了一种多孔磷酸铝块体的制备方法，以六水合氯化铝为铝源，以磷酸为磷源，以去离子水与无水甲醇的混合物作为溶剂，以环氧丙烷为凝胶促进剂，以聚氧化乙烯为相分离诱导剂；依次进行如下步骤：1）将六水合氯化铝和聚氧化乙烯置于...
郭兴忠杨辉徐晨阳李文彦王应恺
文献传递
一种CVD在线原位称重系统和方法
本发明公开了一种CVD在线原位称重系统和方法，属于半导体制造技术领域。本申请考虑传感器无法应用于石英管内的高温环境下，采用了长悬臂连接称重传感器和样品载体，根据力矩原理计算得到传感器测量值，同时，考虑高温低压环境，预先获...
项荣戚杭哲徐晨阳马亦诚王凌峰郑一格
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