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饶先花
作品数:
17
被引量:5
H指数:2
供职机构:
中国科学院重庆绿色智能技术研究院
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
理学
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电子电信
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合作作者
靳志伟
中国科学院重庆绿色智能技术研究...
杨正
中国科学院重庆绿色智能技术研究...
吴鹏
中国科学院重庆绿色智能技术研究...
杜春雷
中国科学院重庆绿色智能技术研究...
尹韶云
中国科学院重庆绿色智能技术研究...
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聚酰亚胺薄膜的反应离子刻蚀抛光
被引量:2
2019年
为进一步提高聚酰亚胺薄膜光学器件的表面质量,提出了一种聚酰亚胺薄膜的反应离子刻蚀抛光方法,对其抛光原理和抛光实验进行了研究。利用光刻胶流体的低表面张力及流动特性,通过在聚酰亚胺薄膜表面涂覆光刻胶对其表面缺陷进行填补;结合聚酰亚胺与光刻胶的反应离子高各向异性等比刻蚀工艺,将光刻胶光滑平整表面高保真刻蚀转移至聚酰亚胺表面,从而实现聚酰亚胺薄膜的反应离子刻蚀抛光。实验结果表明:PV、RMS分别为1.347μm和340nm的粗糙表面,通过二次抛光其粗糙度可降低至75nm和13nm;PV、RMS分别为61nm和8nm的表面,其粗糙度可降低至9nm和1nm。该抛光方法能有效提高聚酰亚胺薄膜的表面光洁度,可为以聚酰亚胺薄膜为代表的高分子柔性光学器件的精密加工提供新的工艺思路。
杨正
靳志伟
靳志伟
饶先花
尹韶云
饶先花
关键词:
抛光
聚酰亚胺
光刻胶
反应离子刻蚀
一种双面微结构聚酰亚胺薄膜光学器件的制备方法
本发明公开一种双面微结构聚酰亚胺薄膜光学器件的制备方法,解决现有聚酰亚胺加工方法制作成本较高、工作环境难以实现等问题。本发明的制备方法具体包括以下步骤:(1)在衬底模具表面涂覆聚酰亚胺前驱液,并低温烘烤至凝胶状态;(2)...
杨正
吴鹏
靳志伟
饶先花
尹韶云
文献传递
一种复合材料的叠层增材制造方法
本发明公开了一种复合材料的叠层增材制造方法,包括步骤:用热辊使各薄膜材料预复合成多层复合材料;用计算机对所要制备的产品进行程序切割分层,并提取各虚拟层的横截面轮廓线;激光切割系统在多层复合材料上切割出与虚拟层横截面形状一...
饶先花
文献传递
一种双面微结构聚酰亚胺薄膜光学器件的制备方法
本发明公开一种双面微结构聚酰亚胺薄膜光学器件的制备方法,解决现有聚酰亚胺加工方法制作成本较高、工作环境难以实现等问题。本发明的制备方法具体包括以下步骤:(1)在衬底模具表面涂覆聚酰亚胺前驱液,并低温烘烤至凝胶状态;(2)...
杨正
吴鹏
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饶先花
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一种复合材料的叠层增材制造方法
本发明公开了一种复合材料的叠层增材制造方法,包括步骤:用热辊使各薄膜材料预复合成多层复合材料;用计算机对所要制备的产品进行程序切割分层,并提取各虚拟层的横截面轮廓线;激光切割系统在多层复合材料上切割出与虚拟层横截面形状一...
饶先花
文献传递
一种太赫兹偏振片
本发明公开了一种太赫兹偏振片及其制作方法,所述太赫兹偏振片包括构成偏振片的基底为多层聚合物薄膜和构成偏振片偏振特性的为三维金属光栅结构;每一层聚合物薄膜上承载一层金属光栅结构。本发明提供的聚合物薄膜衬底的太赫兹偏振片具有...
夏良平
毛洪艳
王思江
沈俊
饶先花
魏东山
崔洪亮
杜春雷
透明耐高温聚酰亚胺光学薄膜研究及其市场应用前景
文章介绍了各种透明耐高温聚酰亚胺产品和应用,可广泛应用于微电子以及光电子等高技术领域,并且提出我国在该领域内的产业化进程尚处于起步阶段,这无疑会从一定程度上影响我国未来在电子信息产业中的竞争力。因此,尽早开展具有自主知识...
饶先花
关键词:
塑料行业
聚酰亚胺
文献传递
无色透明高性能低表面粗糙度的聚酰亚胺光学薄膜材料及其制备方法
本发明公开了无色透明高性能低表面粗糙度的聚酰亚胺光学薄膜材料及其制备方法,聚酰亚胺光学薄膜材料由含氟芳香族二胺和芳香二酐单体在摩尔比为0.98~1.02条件下缩聚反应形成聚酰胺酸溶液后,加入流平剂混合后经成膜、亚胺化制得...
饶先花
靳志伟
史浩飞
杜春雷
吴鹏
杨正
李瑶琳
文献传递
大面积低损耗薄膜衬底太赫兹偏振片
被引量:3
2015年
以硬质硅片作为承载体,在其表面合成性质可控的聚合物薄膜,利用光刻工艺制作微结构,将薄膜与硅片剥离,获得在柔性衬底上大面积均匀的太赫兹器件.以聚酰亚胺薄膜为衬底的太赫兹偏振片的测试结果表明:在o.1THz处,器件的偏振消光比可达到50dB,在0.1~2THz范围内偏振方向的平均透过率高达89.78%,偏振度大于99.84%,在42.3mm直径的区域内,其偏振均匀性好,达到实用化要求.
毛洪艳
许红梅
夏良平
王思江
饶先花
李薇
沈俊
魏东山
赵国忠
崔洪亮
杜春雷
关键词:
太赫兹波
偏振片
光刻
偏振
一种用于回收再生3D打印耗材的设备及方法
本发明公开了一种用于回收再生3D打印耗材的设备及方法,包括粉碎机、新料加料器、挤出机、挤出模头、冷却箱和设置在冷却箱出料侧的收卷机,所述粉碎机和新料加料器通过送料管与挤出机的进料口连接,所述粉碎机的出料口部设置有第一螺旋...
饶先花
范树迁
刘基权
段宣明
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