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张晓燕
作品数:
2
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供职机构:
中国科学院上海光学精密机械研究所
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合作作者
王高中
中国科学院上海光学精密机械研究...
张赛锋
中国科学院上海光学精密机械研究...
董宁宁
中国科学院上海光学精密机械研究...
张龙
中国科学院上海光学精密机械研究...
王俊
中国科学院上海光学精密机械研究...
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作者
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王俊
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张龙
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张赛锋
2篇
张晓燕
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王高中
年份
1篇
2015
1篇
2013
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圆筒式成膜装置
一种圆筒式成膜装置,其特点在于:包括一个敞口式的圆筒式腔体、一个圆形衬底、第一提拉勾、第二提拉勾和具有孔的圆盘形盖,所述的圆筒式腔体的内壁和内底设有相对的第一凹槽和第二凹槽,所述的第一凹槽和第二凹槽分别用于安放第一提拉勾...
王俊
王高中
张赛锋
张晓燕
董宁宁
张龙
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圆筒式成膜装置
一种圆筒式成膜装置,其特点在于包括一个敞口式的圆筒式腔体、一个圆形衬底、第一提拉勾、第二提拉勾和具有孔的圆盘形盖,所述的圆筒式腔体的内壁和内底设有相对的第一凹槽和第二凹槽,所述的第一凹槽和第二凹槽分别用于安放第一提拉勾和...
王俊
王高中
张赛锋
张晓燕
董宁宁
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