陈昌龙
- 作品数：9 被引量：3H指数：1
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：一般工业技术机械工程电子电信更多>>
- 一种光刻式的3D打印机
- 本发明公开了一种光刻式的3D打印机，属于光刻技术领域，包括：光源系统、图像系统、投影系统、机械系统、电控系统五个子系统。系统获取打印物体的三维模型数据，并按高度方向分解成厚度统一的薄层后，用图像系统生成每一薄层的曝光图形...
- 马驰飞王楠陈昌龙高洪涛陈铭勇严伟胡松
- 文献传递
- 基于线阵CCD的高速光刻检焦技术被引量：3
- 2015年
- 随着光学投影光刻分辨力的提高,投影物镜的焦深在逐渐缩短。为充分利用物镜有限的焦深,一般采用调焦技术来调整硅片位置。作为调焦的关键,检焦技术的研究尤为热门。现有的检焦方法多采用四象限探测器或者面阵CCD采集携带有硅片离焦量信息的光强信号,并在计算机上进行图像处理完成检焦。该方法处理速度慢,难以满足实时调焦的要求。鉴于此,提出了一种用线阵CCD采集图像,以FPGA为处理器的检焦方法。该方法利用线阵CCD的高速性和FPGA的并行性,结合多项式插值的亚像素边缘检测算法,能够高速实时检测硅片离焦量;同时,FPGA通过驱动电机控制工件台运动对离焦量进行补偿,形成一个实时闭环的调焦系统,减少了原有的计算机环节,具有高速度、高分辨率、低功耗、低成本的特点。
- 陈昌龙邸成良唐小萍胡松
- 关键词：光刻FPGA线阵CCD
- 一种适用于投影光刻机的实时检焦调焦方法
- 本发明提供一种适用于投影光刻机的实时检焦调焦方法，由光源(1)经准直透镜成为平行光束，通过投影光阑(3)成为一道狭缝。狭缝经成像镜组(4)成像于硅片(6)表面。从硅片表面反射的光束经成像镜组(10、11)成像在线阵CCD...
- 陈昌龙邸成良唐小萍胡松马平刘俊伯马驰飞何渝
- 文献传递
- 一种用于i线大面积平板投影光刻机的物镜
- 本发明公开了一种用于i线大面积平板投影光刻机的物镜，其采用了双远心、28片4组对称结构，其中使用了2个低阶非球面。本设计的像方有效视场可以达到132×132mm，像方数值孔径能提高至0.17以弥补国内光学加工所造成的分辨...
- 刘俊伯赵立新陈铭勇朱咸昌胡松何渝陈昌龙
- 文献传递
- 一种用于接近式纳米光刻二维光栅自动对准系统
- 本发明公开了一种用于接近式纳米光刻二维光栅自动对准系统，包括光路部分、图像处理部分和电路控制部分；光路部分包括激光光源、照明系统、掩模板、硅片、掩模二维光栅、硅片二维光栅、分光镜、透镜和CCD图像探测器；激光通过准直成像...
- 司新春唐燕胡松刘俊伯周毅邓钦元陈昌龙邸成良程依光
- 一种用于光刻机的嵌入式远程通信及控制方法
- 本发明提供一种用于光刻机的嵌入式远程通信及控制方法，其基本过程如下：首先，在本地搭建一台Tomcat服务器，制作动态网页，存放光刻机的数据资源，客户端通过HTTP协议进行访问；在服务器上通过第二远程控制模块，与客户端通过...
- 陈昌龙唐小萍胡松马平王楠刘俊伯马驰飞何渝
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- 一种光刻式的3D打印机
- 本发明公开了一种光刻式的3D打印机，属于光刻技术领域，包括：光源系统、图像系统、投影系统、机械系统、电控系统五个子系统。系统获取打印物体的三维模型数据，并按高度方向分解成厚度统一的薄层后，用图像系统生成每一薄层的曝光图形...
- 马驰飞周绍林王楠陈昌龙高洪涛陈铭勇严伟胡松
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- 一种用于接近式纳米光刻二维光栅自动对准系统
- 本发明公开了一种用于接近式纳米光刻二维光栅自动对准系统，包括光路部分、图像处理部分和电路控制部分；光路部分包括激光光源、照明系统、掩模板、硅片、掩模二维光栅、硅片二维光栅、分光镜、透镜和CCD图像探测器；激光通过准直成像...
- 司新春唐燕胡松刘俊伯周毅邓钦元陈昌龙邸成良程依光
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- 一种用于i线大面积平板投影光刻机的物镜
- 本发明公开了一种用于i线大面积平板投影光刻机的物镜，其采用了双远心、28片4组对称结构，其中使用了2个低阶非球面。本设计的像方有效视场可以达到132×132mm，像方数值孔径能提高至0.17以弥补国内光学加工所造成的分辨...
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