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袁晓峰

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：苏州大学信息光学工程研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金江苏省科技支撑计划项目更多>>
相关领域：理学电子电信机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇电子电信
  • 1篇理学

主题

  • 1篇调制
  • 1篇调制特性
  • 1篇闪耀光栅
  • 1篇数字微镜
  • 1篇数字微镜器件
  • 1篇光刻
  • 1篇光刻系统
  • 1篇光栅
  • 1篇DMD

机构

  • 1篇苏州大学

作者

  • 1篇浦东林
  • 1篇申溯
  • 1篇陈林森
  • 1篇袁晓峰

传媒

  • 1篇应用光学

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
数字微镜器件制造精度误差对紫外光调制特性的影响被引量：1
2012年
数字微镜器件(DMD)的能量利用率对于提高无掩膜激光直写系统的效率十分重要。对DMD在相干光照明下的相位调制特性进行数值和实验分析,发现同种型号DMD在出射0级光垂直于微镜表面角度入射情况下的衍射图样,其光能量分布各不相同,有0级光强占总光强27.2%的情况,也有零0级光强占总光强13.1%的情况,理论计算表明,DMD的微镜偏转角存在±1°的误差可以使DMD衍射0级的衍射效率在极大和极小之间变化。这一结论对于选择高能量利用效率的DMD有重要参考价值。
袁晓峰浦东林申溯陈林森
关键词：闪耀光栅
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