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杨亚军

作品数：4 被引量：0H指数：0
供职机构：西南交通大学更多>>
相关领域：自动化与计算机技术机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 4篇微机电系统
  • 4篇机电系统
  • 4篇电系统
  • 3篇原子力显微镜
  • 3篇流量计
  • 3篇进气
  • 2篇气口
  • 2篇进气口
  • 1篇单晶
  • 1篇单晶硅
  • 1篇水分子
  • 1篇配副
  • 1篇控制装置
  • 1篇共吸附
  • 1篇分子
  • 1篇SI/SIO...

机构

  • 4篇西南交通大学

作者

  • 4篇杨亚军
  • 3篇陈磊
  • 3篇王晓东
  • 3篇陈诚
  • 3篇钱林茂

年份

  • 1篇2016
  • 1篇2015
  • 2篇2014
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
一种用于原子力显微镜的气氛控制系统
一种用于原子力显微镜的气氛控制系统，其特征在于：气体瓶一（1a）和气体瓶二（1b）分别通过流量计一（3a）、流量计二（3b）与混合气管（4）的进气口相连，混合气管（4）的出气口通过进气腔（6）与原子力显微镜上的气氛腔（7...
钱林茂杨亚军陈诚陈磊何洪途王晓东
文献传递
水和乙醇共吸附对Si/SiO2配副纳米磨损的影响研究
目前，信息、航空航天、先进制造、生物等高新技术领域的微型化趋势推动了一批高性能微机电系统(MEMS)的出现。然而，摩擦学问题是影响硅基MEMS长期可靠服役的重要因素，例如在潮湿环境中的运行部件由于接触表面的黏着和摩擦磨损...
杨亚军
关键词：单晶硅水分子
文献传递
用于原子力显微镜的气氛控制装置
一种用于原子力显微镜的气氛控制装置，其特征在于：气体瓶一（1a）和气体瓶二（1b）分别通过流量计一（3a）、流量计二（3b）与混合气管（4）的进气口相连，混合气管（4）的出气口通过进气腔（6）与原子力显微镜上的气氛腔（7...
钱林茂杨亚军陈诚陈磊何洪途王晓东
一种用于原子力显微镜的气氛控制系统
一种用于原子力显微镜的气氛控制系统，其特征在于：气体瓶一（1a）和气体瓶二（1b）分别通过流量计一（3a）、流量计二（3b）与混合气管（4）的进气口相连，混合气管（4）的出气口通过进气腔（6）与原子力显微镜上的气氛腔（7...
钱林茂杨亚军陈诚陈磊何洪途王晓东
文献传递
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