郭福东
- 作品数：43 被引量：32H指数：5
- 供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项国家自然科学基金上海市自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程理学电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 双孔点衍射干涉成像系统波像差检测技术研究被引量：6
- 2021年
- 提出了一种用于测量高精度成像系统的双孔点衍射干涉仪,具有高光场均匀性、高可测量数值孔径、准共光路、相移元件在系统成像光路以外的优点。设计了两种测量模式,点衍射测量模式和系统误差测量模式,其中系统误差模式用于标定干涉仪的系统误差。分别搭建了双孔点衍射干涉和双光纤点衍射干涉的实验装置,完成了对设计波像差小于0.045λ RMS,5×透射式投影物镜的检测实验。实验结果表明,与双光纤点衍射干涉仪对比,双孔点衍射的波像差测量相对误差为0.07 nm RMS,且干涉图具有更加良好的光强均匀性。验证了本文检测技术的有效性。
- 冯鹏唐锋唐锋卢云君王向朝郭福东卢云君
- 平面面形子孔径拼接干涉测量装置与测量方法
- 一种平面面形子孔径拼接干涉测量装置与测量方法，测量装置包括：平面干涉仪，平面干涉仪支架，安装平台，XY二维运动拼接位移台，俯仰偏摆角二维调节台，偏摆角测量系统，俯仰角测量系统，被测平面光学元件；本发明在平面面形子孔径拼接...
- 唐锋卢云君王向朝郭福东
- 位移台通用运动控制系统
- 一种位移台通用运动控制系统，包括上位机、运动控制器、电机驱动器、电机、运动执行机构和可编程电平转换电路板，所述的上位机与运动控制器通信连接；该运动控制器的控制信号输出端与所述的电机驱动器的输入端相连；该电机驱动器的输出端...
- 郭福东王向朝唐锋
- 文献传递
- 高精度平面子孔径拼接算法研究被引量：7
- 2016年
- 对平面子孔径拼接累积误差的理论分析及数值仿真表明,参考镜面形的拼接重叠区域的局部斜率差和直流偏差是产生累积误差的原因。为了提高大口径平面光学元件子孔径拼接检测精度,提出一种简单有效的可以减小子孔径拼接测量累积误差的方法,该方法采用第4项和第6项泽尼克像差拟合一个假设的准参考镜面形,再从每个子孔径测量结果中减去,最后拼接合成全口径面形。对450mm×60mm的平面镜进行了8个子孔径的拼接检测,去除准参考镜面形前后,拼接测量结果与Zygo公司24英寸(600mm)口径干涉仪检测结果的偏差峰谷(PV)值从λ/7减小至λ/100。所拟合的准参考镜面形误差为0.02λ(PV值),与标准镜的面形误差为同一量级,其对每个子孔径测量结果的影响可以忽略。实验结果表明,本文方法能够有效控制拼接累积误差,提高拼接检测精度。
- 朱鹏辉唐锋卢云君王向朝郭福东李永
- 关键词：子孔径拼接
- 光刻机原位快速高空间分辨率波像差检测装置及方法
- 一种光刻机原位快速高空间分辨率波像差检测装置及方法，该装置包括用于产生激光光束的光源，沿光束传播方向依次是照明系统、物面光栅板、能承载物面光栅板并拥有精确定位能力的掩模台、光刻机投影物镜、波像差传感器、能承载波像差传感器...
- 李杰唐锋王向朝吴飞斌张国先郭福东
- 文献传递
- 位移台通用运动控制系统
- 一种位移台通用运动控制系统，包括上位机、运动控制器、电机驱动器、电机、运动执行机构和可编程电平转换电路板，所述的上位机与运动控制器通信连接；该运动控制器的控制信号输出端与所述的电机驱动器的输入端相连；该电机驱动器的输出端...
- 郭福东王向朝唐锋
- 文献传递
- 分体式低功耗相机
- 一种分体式低功耗相机，包括散热结构,图像传感器、模数转换芯片、第一串行器/解串芯片、逻辑控制单元、第二串行器/解串芯片和长线缆。本发明优点是采用全双工串行器/解串芯片实现了相机光敏部分与控制部分的长线传输，从而将相机拆分...
- 郭福东唐锋王向朝
- 文献传递
- 光刻机原位快速高空间分辨率波像差检测装置及方法
- 一种光刻机原位快速高空间分辨率波像差检测装置及方法，该装置包括用于产生激光光束的光源，沿光束传播方向依次是照明系统、物面光栅板、能承载物面光栅板并拥有精确定位能力的掩模台、光刻机投影物镜、波像差传感器、能承载波像差传感器...
- 李杰唐锋王向朝吴飞斌张国先郭福东
- 文献传递
- 采用多探测器的光场光强分布测量方法
- 一种采用多探测器的光场光强分布测量方法，该方法利用的系统包括光电传感单元、精密扫描台、信号处理与控制单元；采用的光电传感单元1包含2个以上的点探测器；精密扫描台带动光电传感单元扫描实现待测光场时，至少有一个参考探测器位于...
- 唐锋王向朝郭福东
- 文献传递
- 一种光功率可调衰减装置
- 一种光功率可调衰减装置，其特征在于构成包括上位机、运动控制器、电机驱动器、电机、电机卡座、挡光片、限位开关挡块、限位开关、限位开关固定座、入射光纤、光纤准直接头、光纤准直/耦合固定基座、光纤耦合接头、输出光纤。本发明优点...
- 郭福东唐锋王向朝
- 文献传递
