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谌巍

作品数：7 被引量：31H指数：1
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 6篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 5篇电子电信
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇机械工程
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇核科学技术

主题

  • 5篇激光
  • 3篇激光器
  • 1篇掩模
  • 1篇致动器
  • 1篇套刻
  • 1篇套刻精度
  • 1篇控制系统
  • 1篇激光加工
  • 1篇工件台
  • 1篇核反应
  • 1篇核反应堆
  • 1篇盒式
  • 1篇反射镜
  • 1篇反应堆
  • 1篇RPL
  • 1篇XE
  • 1篇AR
  • 1篇CO2激光
  • 1篇CO2激光器
  • 1篇HE

机构

  • 7篇中国科学院上...
  • 2篇西北核技术研...
  • 2篇泉州师范学院

作者

  • 7篇谌巍
  • 6篇程兆谷
  • 5篇高海军
  • 4篇赵全忠
  • 2篇黄英奇
  • 2篇万俊生
  • 2篇柴雄良
  • 2篇黄惠杰
  • 1篇刘丹
  • 1篇魏加祥
  • 1篇陈立新
  • 1篇蒋金波
  • 1篇赵柱民
  • 1篇王道华

传媒

  • 3篇激光与光电子...
  • 2篇中国激光
  • 1篇原子能科学技...

年份

  • 5篇2003
  • 2篇2002
共 7 条 记 录，以下是 1-7
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排序方式：
盒式腔核泵浦激光理论研究
2003年
系统提出了He Ar Xe核泵浦激光本征效率的理论模型,建立了本征效率与泵浦腔内介质温度(能量沉积)、气体总压力、He和Ar分压、Xe的含量之间的函数关系,完善了核泵浦激光腔内能量沉积模拟计算软件。研究表明:腔内气体组成决定激光效率,中子屏蔽效应对腔内能量沉积影响严重,只有当腔厚度与气体压力为一定关系时,能量沉积达最大。这为进一步的实验设计提供了理论依据。
万俊生赵柱民陈立新魏加祥王道华蒋金波谌巍程兆谷
关键词：核反应堆激光器
反应堆抽运Xe激光多折腔研究
2002年
针对反应堆抽运激光(RPL),介绍了一类具有多折光路、与反应堆有较高耦合效率的谐振腔。在俘获放能介质于腔内均匀分布的情况下,给出了激光器的匹配设计要素和裂变反应能在腔内的沉积,提供了该腔型耦合优化的模拟方法,为较大规模的RPL实验提供了理论依据。
谌巍程兆谷黄惠杰高海军万俊生
关键词：RPL
步进扫描投影光刻机工件台和掩模台的进展被引量：28
2003年
着重介绍了当前国外步进扫描投影光刻机的工件台和掩模台的发展状况,并对套刻精度和整机精度进行了分析。
刘丹程兆谷高海军黄惠杰赵全忠谌巍
关键词：工件台套刻精度测量系统控制系统
激光纳米尺度先进加工技术被引量：1
2003年
综述了激光-扫描探针显微镜(Laser-SPM )纳米尺度加工先进技术及激光纳米结构先进加工技术。
黄英奇程兆谷谌巍赵全忠高海军柴雄良
反应堆抽运Xe激光器研究
该论文工作主要是结合中国科学院上海光学精密机械研究所与西北核技术所有关反应堆抽运激光器(RPL)研究的合作项目进行的,技术实现方案和相应的理论探索皆有特色.研究中首次提出了一类具有多折光路、与反应堆有较高耦合效率的矩形盒...
谌巍
文献传递
自适应变形镜激光应用技术被引量：1
2003年
自适应变形镜技术在激光加工、激光发射和远距离输运、聚焦系统等方面的应用正日益受到重视,不断发展。它是激光光束质量和聚焦特性自适应控制的关键技术。本文着重论述高功率强激光加工中自适应变形镜技术及其对"飞行光学"聚焦特性控制的新技术。
黄英奇程兆谷赵全忠高海军谌巍柴雄良
关键词：致动器反射镜激光加工
输出耦合镜热形变对聚焦特性的影响及其实时补偿被引量：1
2002年
研究了在不同输出功率下 ,输出耦合镜热形变所引起的输出光束Rayleigh长度的变化规律。采用压力变形反射镜对Rayleigh长度变化进行了实时补偿 ,修正了由于输出耦合镜热变形造成的影响 ,改善了高功率CO2
高海军程兆谷赵全忠谌巍
关键词：CO2激光器
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