魏青竹 作品数:12 被引量:11 H指数:2 供职机构: 中国科学院上海技术物理研究所 更多>> 相关领域: 电子电信 自动化与计算机技术 电气工程 理学 更多>>
Hg在As激活退火中的作用 被引量:2 2006年 对原位 As_4掺杂 MBE HgCdTe 材料退火前后的电学性质进行了研究。原生样品以及 N 型退火样品的测试结果显示,随着 As 掺杂进入 HgCdTe 的同时,样品中产生了额外的 Hg 空位,并且在样品中引进了一种 N 型深能级结构。不同 Hg 分压下的激活退火结果显示,高温汞压下退火可以获得 P 型 MBE HgCdTe 材料。但是,真空退火结果显示 As 很难被激活。说明在激活退火过程中 As 在各个格点之间转移时,外界的 Hg 起重要作用。 吴俊 魏青竹 巫艳 陈路 于梅芳 乔怡敏 何力关键词:退火 碲镉汞 分子束外延 束源杂质引发的MBE HgCdTe表面缺陷 被引量:3 2007年 研究了利用GaAs作为衬底的HgCdTe MBE薄膜的表面缺陷,发现其中一类缺陷与Hg源中杂质有关。采用SEM对这类缺陷进行正面和横截面的观察,并采用EDX对其正面和横截面进行成分分析。并设计了两个实验:其一,在CdTe/GaAs衬底上,低温下用Hg源照射20min,再在其上继续高温生长CdTe;其二,在CdTe/GaAs衬底上,一直用Hg源照射下高温生长CdTe。两个实验后CdTe表面都出现与HgCdTe表面相比在形状和分布上类似的表面缺陷,采用光学显微镜和SEM对CdTe表面缺陷进行了观察,通过CdTe表面缺陷和HgCdTe表面缺陷的比较,我们证实了这类表面缺陷的成核起源于Hg源中杂质。 傅祥良 王伟强 于梅芳 乔怡敏 魏青竹 吴俊 陈路 巫艳 何力关键词:HGCDTE 分子束外延 Si基HgCdTe材料的电学特性研究 被引量:2 2007年 文章研究了Si基分子束外延HgCdTe原生材料、P型退火材料和N型退火材料的霍耳参数、少子寿命等材料电学特性。研究发现,晶格失配导致Si基HgCdTe材料原生材料和N型退火材料迁移率低;Si基原生HgCdTe材料属于高补偿材料,但高补偿性并非材料的固有特性,通过P型退火可使材料变为低补偿材料,迁移率得到提高。采用分子束外延方法制备的3 in Si基HgCdTe材料电学性能与GaAs基HgCdTe材料相比,性能还有待提高。改进分子束外延生长工艺提高HgCdTe质量,从而进一步提高迁移率,是Si基外延研究的关键。 魏青竹 吴俊 巫艳 陈路 于梅芳 王伟强 傅祥良 何力关键词:SI基 HGCDTE 电学参数 少子寿命 分子束外延 Si基大面积碲镉汞分子束外延研究 本文阐述了Si基碲镉汞分子束外延(MBE)的最新研究进展。用晶向偏角降低高界面应变能的方法,摸索大失配体系中位错的抑制途径,寻找位错密度与双晶半峰宽的对应关系,基本建立了外延材料晶体质量无损检测评价标准,并对外延工艺进行... 陈路 傅祥良 巫艳 吴俊 王伟强 魏青竹 王元樟 何力关键词:红外探测器 分子束外延 文献传递 碲镉汞As掺杂技术研究 被引量:5 2006年 对于MBE原位掺杂,HgCdTe的N型掺杂比较容易,而P型掺杂相对来说难度比较大。作为掺杂杂质的As表现出两性掺杂行为,在富Te的条件下生长,As有很大的几率进入到阳离子位置处。而As必须进入Te位才能参与导电,表现为P型。因此,采取了多种方法,现已获得10^16-10^18坤cm^-3掺杂水平的P型材料。在成功实现As的掺杂后,研究人员对激活退火做了一些研究。研究发现,需要在汞压下经过高温退火,As原子才能占据Te位成为受主杂质。对As在碲镉汞中的扩散系数也进行了研究。 巫艳 吴俊 魏青竹 陈路 于梅芳 王元樟 傅祥良 乔怡敏 何力关键词:碲镉汞 分子束外延 分子束外延P型Hg_(1-x)Cd_xTe少子寿命的研究 被引量:1 2007年 本文利用μ-PCD载流子寿命测量系统,对采用MBE方法生长的Hg空位型中波HgCdTe P型材料和原位As掺杂激活中波P型材料的少子寿命进行了测量,并对材料的少子寿命与温度、载流子浓度的依赖关系进行了研究。结果发现,Hg空位型HgCdTe材料,在非本征区范围内,SRH再结合机制起主要作用;在本征区域,Auger再结合和Radiative再结合机制起主要作用。通过拟和得到,低温下作为SRH再结合中心的汞空位能级位置在离价带顶30meV处,有着类受主的性质,起库仑吸引作用,限制了材料的少子寿命。As掺杂P型材料的少子寿命与同载流子浓度Hg空位为主的P型材料少子寿命相比,大了一个数量级。这就决定了As掺杂P型材料制成的红外探测器件比Hg空位P型材料的探测率高,因此这种材料更适合做多色红外焦平面列阵探测器。 魏青竹 吴俊 巫艳 陈路 于梅芳 傅祥良 乔怡敏 王伟强 何力关键词:HGCDTE 少子寿命 Hg在As激活退火中的作用 对原位As4掺杂MBEHgCdTe材料退火前后的电学性质进行了研究.原生样品以及N型退火样品的测试结果显示,随着As掺杂进入HgCdTe的同时,样品中产生了额外的Hg空位,并且在样品中引进了一种N型深能级结构.不同Hg分... 吴俊 魏青竹 巫艳 陈路 于梅芳 乔怡敏 何力关键词:退火 碲镉汞 分子束外延 电学性质 红外焦平面探测器 文献传递 HgCdTe材料p型掺杂及相关电学性质 第三代HgCdTe红外焦平面列阵技术向多光谱、大规模的发展过程中,分子束外延(MBE)技术面临扩大外延面积、精确控制原位掺杂等技术挑战。分子束外延碲镉汞P型掺杂问题是国际上的研究热点,也是现代碲镉汞焦平面技术的关键,具有... 魏青竹关键词:红外焦平面列阵 碲镉汞材料 P型掺杂 电学性质 Hg在As激活退火中的作用 对原位As4掺杂MBEHgCdTe材料退火前后的电学性质进行了研究。原生样品以及N型退火样品的测试结果显示,随着As掺杂进入HgCdTe的同时,样品中产生了额外的Hg空位,并且在样品中引进了一种N型深能级结构。不同Hg分... 吴俊 魏青竹 巫艳 陈路 于梅芳 乔怡敏 何力关键词:退火 碲镉汞 分子束外延 文献传递 Si基大面积碲镉汞分子束外延研究 被引量:1 2006年 文章报道了Si基碲镉汞分子束外延(MBE)的最新研究进展。尝试用晶向偏角降低高界面应变能的方法,摸索大失配体系中位错的抑制途径,寻找位错密度与双晶半峰宽的对应关系,基本建立了外延材料晶体质量无损检测评价标准,并对外延工艺进行指导。通过上述研究,15~20μm Si基CdTe复合材料双晶半峰宽最好结果为54arcsec,对应位错密度(EPD)小于2×10^6/cm^2,与相同厚度的GaAs/CdTe(211)双晶水平相当,达到或优于国际最好结果。获得的3in 10μm Si基HgCdTe材料双晶半峰宽最好结果为51arcsec,目前si基HgCdTe材料已经初步应用于焦平面中波320×240器件制备。 陈路 傅祥良 巫艳 吴俊 王伟强 魏青竹 王元樟 何力关键词:SI基 碲镉汞 分子束外延 红外焦平面阵列