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马瑟拉·比莱克

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：悉尼大学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文专利

主题

  • 1篇等离子
  • 1篇等离子体
  • 1篇等离子体处理
  • 1篇等离子体控制
  • 1篇等离子体源
  • 1篇电极
  • 1篇基片

机构

  • 1篇悉尼大学

作者

  • 1篇大卫·麦克肯...
  • 1篇安尼·格尔德...
  • 1篇殷永柏
  • 1篇马瑟拉·比莱...

年份

  • 1篇2007
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
用于等离子体处理的装置
本发明提供一种用于基片表面(16)等离子体处理的装置(10)。该装置包括用于产生等离子体的等离子体源(12)和等离子体控制电极(14)。该装置还包括驱动装置，用于实现所述等离子体控制电极(14)和等离子体源(12)之间的...
殷永柏马瑟拉·比莱克大卫·麦克肯茨安尼·格尔德·伊曼尼斯
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