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汪濙海
作品数:
90
被引量:4
H指数:1
供职机构:
上海交通大学
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发文基金:
教育部“新世纪优秀人才支持计划”
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相关领域:
自动化与计算机技术
电子电信
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合作作者
张卫平
教育部
唐健
上海交通大学
陈文元
上海交通大学微纳米科学技术研究...
成宇翔
上海交通大学微纳米科学技术研究...
刘亚东
上海交通大学
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一种压电驱动和检测的微型半球谐振陀螺仪及其制备方法
本发明提供了一种压电驱动和检测的微型半球谐振陀螺仪及其制备方法,包括一个单晶硅基底、一个中心固定支撑柱、一个微型半球谐振子、一个公共电极、八个薄膜压电体、八个均匀分布式信号电极,其中:单晶硅基底与微型半球谐振子通过中心固...
张卫平
唐健
刘亚东
汪濙海
成宇翔
孙殿竣
邢亚亮
陈文元
文献传递
静电驱动压电检测体声波谐振三轴微陀螺及其制备方法
本发明涉及一种静电驱动压电检测体声波谐振三轴微陀螺及其制备方法,包括:一个不带释放孔的圆盘振子,一个圆柱形的支撑柱,分布于基板上的驱动电极、平衡电极和隔离电极,以及分布于圆盘振子上的检测电极。所述检测电极分布于所述圆盘振...
张卫平
成宇翔
张弓
许仲兴
唐健
陈文元
汪濙海
上下贯通支撑的玻璃金属半球谐振微陀螺
本发明提供了一种上下贯通支撑的玻璃金属半球谐振微陀螺,包括:一个长方体基体、一个半球谐振体、一根位于基体中央的支柱、一个空腔、八个在基体外围对称分布的电极、一个顶部支撑体和一个顶部支撑柱,其中:半球谐振体受到支柱和顶部支...
张卫平
汪濙海
唐健
刘亚东
成宇翔
孙殿竣
陈文元
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环形玻璃包围式玻璃吹制微型半球谐振陀螺及其制备方法
本发明提供了一种环形玻璃包围式玻璃吹制微型半球谐振陀螺及其制备方法,包括:一个长方体硅基底、一个半球壳式中央谐振子、一个环形玻璃壳体、八个制作在环形玻璃上的金属电极,其中:八个电极环绕中央谐振子均匀分布配置,包含四个驱动...
张卫平
刘亚东
唐健
汪濙海
成宇翔
孙殿竣
陈文元
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回柱形微机械固体波动模态匹配陀螺
本发明提供了一种回柱形微机械固体波动模态匹配陀螺,包括一个顶端四角含正方体突出的回柱形谐振子、四个在回柱形谐振子顶端正方体突出上或其附近沿谐振子侧面分布的驱动电极、四个在回柱形谐振子顶端正方体突出上或其附近沿谐振子侧面分...
张卫平
汪濙海
刘亚东
成宇翔
唐健
张弓
许仲兴
孙殿竣
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静电驱动静电检测体声波谐振三轴微陀螺及其制备方法
本发明提供了一种静电驱动静电检测体声波谐振三轴微陀螺及其制备方法,所述陀螺包括不带释放孔的圆盘振子、基板、圆柱形的支撑柱、驱动电极、检测电极和公共电极,其中:所述圆盘振子通过所述支撑柱固定于所述基板上,所述圆盘振子垂直于...
张卫平
成宇翔
许仲兴
唐健
张弓
陈文元
汪濙海
一种内外双电极式微型半球谐振陀螺仪及其制备方法
本发明提供了一种内外双电极式微型半球谐振陀螺仪及其制备方法,包括:单晶硅基底、中心固定支撑柱、微型半球谐振子、外电极、外电极金属焊接板、玻璃基底、金属引线、圆形焊线盘、外电极金属连接柱内电极和种子层。本发明结合MEMS体...
张卫平
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一种玻璃金属吹制式微型半球谐振陀螺及其制备方法
本发明提供了一种玻璃金属吹制式微型半球谐振陀螺及其制备方法,所述陀螺包括:一个长方体硅基底、一个半球壳式中央谐振子和八个半球壳式电极,其中:八个电极环绕中央谐振子均匀分布配置,包含四个驱动电极和四个检测电极,并通过引线连...
张卫平
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半环形压电谐振陀螺仪及其制备方法
本发明提供了一种半环形压电谐振陀螺仪及其制备方法,包括:基底、基底上中心位置周围的环形空腔、环绕于支撑柱的半环形压电谐振体、连接到基底的上表面作为半环形压电谐振体支撑的支撑柱以及在半环形谐振体外表面上呈对称分布的八个电极...
张卫平
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汪濙海
刘亚东
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半球体固态波动微陀螺仪及其制备方法
本发明提供了一种半球体固态波动微陀螺仪及其制备方法,包括:单晶硅基底、信号电极、屏蔽电极、微型半球体谐振子、中心固定支撑柱,微型半球体谐振子与单晶硅基底通过中心固定支撑柱相连;信号电极和屏蔽电极设置于单晶硅基底的上表面,...
张卫平
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