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汪健如
作品数:
34
被引量:29
H指数:3
供职机构:
清华大学信息科学技术学院电子工程系
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发文基金:
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
电子电信
自动化与计算机技术
核科学技术
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合作作者
应根裕
清华大学信息科学技术学院电子工...
杜秉初
清华大学信息科学技术学院电子工...
董桂芳
清华大学信息科学技术学院电子工...
孙伯尧
清华大学电子工程系
张克潜
清华大学信息科学技术学院电子工...
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文献类型
29篇
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32篇
电子电信
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自动化与计算...
1篇
核科学技术
主题
12篇
离子束
11篇
聚焦离子束
6篇
液态金属离子...
6篇
微细
6篇
微细加工
5篇
聚焦离子束系...
5篇
测试台
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电子枪
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显示管
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显像管
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彩色显象
4篇
彩色显象管
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3篇
荫罩式
3篇
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半导体
3篇
半导体器件
机构
34篇
清华大学
2篇
技术公司
1篇
北京理工大学
作者
34篇
汪健如
23篇
应根裕
9篇
杜秉初
5篇
董桂芳
4篇
孙伯尧
3篇
康文运
3篇
张克潜
3篇
王学超
2篇
李刚
1篇
童清化
1篇
黄宇辉
1篇
袁忠远
1篇
钱俊
1篇
应凯
1篇
郑平浩
1篇
于莉
1篇
廖焕霖
1篇
周承志
1篇
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传媒
8篇
真空电子技术
7篇
真空科学与技...
5篇
微细加工技术
3篇
清华大学学报...
2篇
电子学报
2篇
电子器件
2篇
彩色显像管
1篇
中国电子学会...
1篇
中国电子学会...
1篇
中国电子学会...
年份
1篇
2005
2篇
2002
4篇
2001
3篇
2000
6篇
1999
3篇
1998
7篇
1997
3篇
1996
3篇
1995
1篇
1994
1篇
1992
共
34
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被引量排序
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AuSi液态金属离子源
被引量:2
1997年
为了进行Si聚焦离子束微细加工技术的研究,研制了AuSi液态金属离子源制备设备及其分析设备,制成了实用化的AuSi合金源,得到了制备该合金源的成熟工艺,利用E×B质量分离器分离出Au和Si离子束,对源的一些特性如电流—电压曲线、加热功率—发射电流曲线、束流质谱及源的寿命作了分析。该源结构采取同轴针型,合金槽的材料为钼,发射尖为钨丝。源正常工作时的加热方式为间接加热式。该源与带质量分离器的聚焦离子束系统结合,将迈开亚微米Si离子束加工的第一步。并为今后研究其它合金源提供经验。
董桂芳
康文运
应根裕
汪健如
关键词:
液态金属离子源
离子源
聚焦离子束
微细加工
关于荫罩式彩管莫尔效应的成因与对策
1995年
应根裕
汪健如
关键词:
莫尔条纹
彩色显象管
彩色显示管
带电粒子束的自动聚焦技术
1994年
现代聚焦电子束、聚焦离子束装置大都采用自动聚焦、自动消象散技术,本文对目前常用的几种自动聚焦、自动消象散技术加以总结,介绍了其原理及实现方法。
汪荣军
应根裕
汪健如
关键词:
自动聚焦
电子束
双束投影管测试台的研制
被引量:1
2001年
介绍了双束投影管测试台的性能指标和相关的特殊电路
应根裕
汪健如
杜秉初
林岱恩
关键词:
测试台
投影管测试台数据采集系统
2001年
介绍了投影管测试台数据采集系统的原理 。
应凯
汪健如
关键词:
投影管
数据采集系统
测试台
聚焦离子束装置的发展及趋势
被引量:4
1992年
综述了聚焦离子束装置的发展状况,包括各个年代、不同地区和国家的研究方向及特点。通过几台典型机描术透镜系统及其内部透镜的性能。介绍几种联机系统。最后阐明我国研究和开发聚焦离子束装置及其应用技术的必要性。
李晓明
应根裕
汪健如
关键词:
离子束
FIB
亚微米聚焦离子束系统的合轴技术及聚焦检测技术
被引量:1
1996年
本文介绍了二级透镜亚微米聚焦离子束系统中的合轴技术和聚焦检测技术,包括合轴的调整及其检测技术的原理和具体方法、离子束聚焦状态的跟踪检测技术,利用此技术可以快速准确地获得微细离子束。
王学超
汪荣军
汪健如
关键词:
聚焦离子束
微细加工
亚微米
双束投影管测试台的研制
投影管的亮度指标是所有指标中最重要的,但受限于阴极负荷能力和荧光屏灼伤限制,光斑最大电流密度受到限制。如果用同一个阴极,两个独立的调制极,其余电极公用, 则便可产生双束,由于发射电流取之阴极不同部位,电子束又是先后打在荧...
应根裕
汪健如
杜秉初
林岱恩
关键词:
投影管
测试台
文献传递
29'彩色显象管测试台(LAB)的研制
汪荣军
汪健如
孙伯尧
应根裕
彩色显示管电子枪动态测试系统
本文主要介绍彩色显示管电子抢动(?)测试系统的设计原理.组成、功能及特点.
刘小冬
汪荣军
应根裕
汪健如
关键词:
电子枪
彩色显示管
文献传递
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