李艳芳
- 作品数：3 被引量：3H指数：1
- 供职机构：中国民航大学航空自动化学院更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电气工程更多>>
- 悬臂梁式微开关的动态分析研究
- 静电力作为微电子机械系统(MEMS)中一种重要的驱动力，广泛应用于微镜、微钳、微开关等微器件中。尽管部分静电驱动MEMS产品已经从实验室走向商业化，但相关设计理论和设计工具尚不能满足设计需要，实际设计中仍然以反复试验方法...
- 李艳芳
- 关键词：微电子机械系统微开关
- 文献传递
- 静电驱动悬臂梁式微开关的动态特性分析被引量：2
- 2008年
- 通过建立静电驱动悬臂梁式微开关的非线性动力学简化模型,利用数值方法求解出系统的动态响应特性,得到了动态吸合电压和开关吸合时间的关系,并详细分析了其动态响应中的非线性现象以及动态特性和静态特性的不同。计算结果表明,动态吸合电压并不是唯一的;随着动态吸合电压的增大,吸合时间逐渐变小;微悬臂梁的动态响应周期随着驱动电压的增大而增大;动态临界电压低于静态临界电压,这些动态特性与静态特性有着明显的不同。
- 丁芳李艳芳
- 关键词：微开关悬臂梁静电驱动动态特性
- 基于ANSYS悬臂梁式微开关动态特性的分析被引量：1
- 2008年
- 利用ANSYS软件采用顺序耦合法对静电驱动悬臂梁式微开关进行力电耦合分析,得出了微开关的动态响应特性,并指出了空气阻尼对器件性能的影响;在动态分析的基础上,详细分析了微开关结构参数和其动态临界电压的关系。分析结果表明:动态临界电压略低于静态临界电压,由于空气阻尼的存在和静电力的非线性,系统的振动频率相对于其固有频率向下发生漂移,这些动态特性与静态特性有明显的不同。
- 丁芳李艳芳
- 关键词：微开关动态特性
