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李文昌
作品数:
1
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供职机构:
西安理工大学自动化与信息工程学院电子工程系
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相关领域:
一般工业技术
电子电信
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合作作者
刘文涛
西安理工大学自动化与信息工程学...
陈治明
西安理工大学自动化与信息工程学...
李连碧
西安理工大学自动化与信息工程学...
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陈治明
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刘文涛
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李文昌
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第十六届全国...
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1篇
2010
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i-Si层厚度对Si/SiC异质结光电特性的影响
用LPCVD法在n型6H-SiC(0001)面(Si面)上异质沉积了Si薄膜,通过控制B2H6的流量实现Si薄膜的低掺杂和重掺杂.做成了Si/6H-SiC异质结pin二极管。I-V测试表明:该异质结具有较好的整流性,其转...
李文昌
陈治明
李连碧
刘文涛
关键词:
光电特性
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