戚丽娜
- 作品数：8 被引量：5H指数：1
- 供职机构：东南大学电子科学与工程学院微电子机械系统教育部重点实验室更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信一般工业技术理学更多>>
- 范德堡多晶硅热导率的测试结构被引量：2
- 2005年
- 在O.M.Paul等研究的范德堡热导率测试结构的基础上,提出了一种改进结构,利用一组测试结构来测得多晶硅薄膜的热导率。在十字型结构中一个含有多晶硅薄膜,而另一个不含有多晶硅薄膜,根据建立的热学模型,可以获取多晶硅薄膜的热导率。用有限元分析软件ANSYS进行了模拟分析,分析表明模拟值与实验值能较好地吻合,且辐射散热是基本可以忽略的,从而验证了模型建立的正确性,说明该方法能够实现对多晶硅薄膜的测量,且具有较高的测试精确度。
- 戚丽娜许高斌黄庆安
- 关键词：热导率多晶硅薄膜十字型
- 多晶硅薄膜热扩散率的测试结构被引量：1
- 2005年
- 目前已经有用桥式结构来测试薄膜的热扩散率,在此基础上把辐射、对流、对衬底的传热等环境影响都考虑进去,使得该模型在使用中更符合实际情况,更有实际意义.利用两根不同长度的梁,以相同的电流对其加热,分析其瞬态特性,即可获得多晶硅薄膜的热扩散率.用有限元分析软件ANSYS进行了模拟分析,分析表明模拟结果与理论结果趋势一致,数值吻合,从而验证了模型建立的正确性,说明该方法能够实现对多晶硅薄膜的测量,且具有较高的测试精确度.
- 戚丽娜许高斌
- 关键词：热扩散率多晶硅薄膜瞬态分析时间常数
- 多晶硅薄膜热扩散率在线测试结构的设计
- MEMS(微电子机械系统)器件的尺寸一般在几微米到几百微米之间，MEMS器件主要是由薄膜结构组成，而薄膜材料参数和体结构的参数已经大不相同。多晶硅薄膜被广泛地应用于MEMS和集成电路系统中，多晶硅薄膜的热扩散率与器件的动...
- 戚丽娜
- 关键词：多晶硅薄膜热扩散率MEMS薄膜
- 文献传递
- 薄膜热扩散率测量方法被引量：1
- 2007年
- 总结了测量薄膜热扩散率常用的方法和结构,给出了薄膜热扩散率测试的进展状况.热扩散率是材料重要的热特性参数,通过比较各种测试结构和测试方法,分析这些方法的优缺点,我们希望提出一种在线提取多晶硅薄膜热扩散系数的简单测量模型和方法,对工艺线进行实时监测,而且对于图形参数的提取也有重要意义.
- 戚丽娜黄庆安李伟华
- 关键词：热扩散率热容相位延迟幅值
- 多晶硅薄膜热扩散率的测试结构
- 目前已经有用桥式结构来测试薄膜的热扩散率,在此基础上把辐射、对流、对衬底的传热等环境影响都考虑进去,使得该模型在使用中更符合实际情况,更有实际意义.利用两根不同长度的梁,以相同的电流对其加热,分析其瞬态特性,即可获得多晶...
- 戚丽娜许高斌
- 关键词：热扩散率多晶硅薄膜瞬态分析时间常数
- 文献传递
- 一种简单的表面加工多晶硅薄膜热扩散率在线测试结构
- 2006年
- 本文提出了一种表面加工多晶硅薄膜的在线测试结构.模型综合考虑了辐射、对流以及向衬底的传热等因素的影响,通过分析两个长度不同但宽度与厚度相同的梁在相同加热电流下的瞬态电阻变化特性,来提取多晶硅薄膜的热扩散系数.用ANSYS软件验证了该模型的正确性,通过实验测得表面加工多晶硅薄膜的热扩散率为1.059×10-5±3×10-6m2/s.
- 戚丽娜黄庆安李伟华
- 关键词：多晶硅薄膜热扩散率瞬态特性
- 多晶硅薄膜热扩散率的测试结构
- 目前已经有用桥式结构来测试薄膜的热扩散率,在此基础上把辐射、对流、对衬底的传热等环境影响都考虑进去,使得该模型在使用中更符合实际情况,更有实际意义。利用两根不同长度的梁,以相同的电流对其加热,分析其瞬态特性,即可获得多晶...
- 戚丽娜许高斌
- 关键词：热扩散率多晶硅薄膜瞬态分析时间常数
- 文献传递
- 表面加工多晶硅薄膜热扩散系数在线测试结构被引量：1
- 2006年
- 基于目前已有的真空桥式薄膜热扩散系数测试结构和测试方法,综合考虑辐射、对流以及向衬底的传热等因素的影响,从而使得本文设计的测试结构和提取方法更具有实际价值。文中通过分析两个长度不同,但宽度与厚度相同的梁在相同加热电流下的瞬态电阻变化特性,来提取多晶硅薄膜的热扩散系数。同时利用有限元分析软件ANSYS进行了模拟分析,分析表明模拟提取值与理论值较好地吻合,从而验证了模型建立的正确性,说明该方法能够实现对多晶硅薄膜热扩散系数的在线提取,且具有较高的测试精确度。
- 戚丽娜黄庆安许高斌李伟华
- 关键词：热扩散系数多晶硅薄膜瞬态特性时间常数
